微波等离子体化学气相沉积装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术为一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括微波源、环形器、功率计、三销钉匹配调节器、模式转换天线、短路活塞、石英窗口、沉积基台、矩形波导、圆波导、水负载和密闭反应腔体；微波源依次与环形器、功率计、三销钉匹配调节器、模式转换天线、矩形波导连接，环形器连接有水负载，矩形波导的末端设置有短路活塞，模式转换天线位于沉积基台的正上方，密闭反应腔体的顶部设置有石英窗口，矩形波导通过模式转换天线下接圆波导再经石英窗口投射入密闭反应腔体中，密闭反应腔体的内部设置有沉积基台，沉积基台上设置有等离子体球。本发明专利技术能够利用TM

【技术实现步骤摘要】
微波等离子体化学气相沉积装置
本技术涉及化学气相沉积金刚石膜领域，具体涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置。
技术介绍
金刚石膜同时拥有许多优异的性能，如：极高的硬度和弹性模量、极高的室温热导率、相对宽的禁带和电磁波透过范围、极佳的介电和绝缘性能、优异的半导体性能、良好的化学稳定性、极高的抗辐射阈值等，因而是众多传统及高
中迫切需要的一种新材料。微波等离子化学气相沉积具有无极放电，放电区域能量集中且分布均匀等优点，可以实现高纯度金刚石膜的快速沉积，是目前制备高质量金刚石膜的最佳方法。微波等离子化学气相沉积法以其可控的高质量在近30年来发展迅速，金刚石膜的大面积沉积可以极大地降低成本，进一步促进金刚石膜的工业化应用，对于直径2英寸以内的高质量金刚石膜可以通过2.45GHz的MPCVD技术满足需求。然而在金刚石膜这种材料的有些特殊应用中，如高功率微波及太赫兹窗口材料，会要求所制备的金刚石膜具有较大面积，在现有技术中，通常都是利用TM01模式来实现激发等离子体的，等离子体区域都不能突破半波长的限制，因此金刚石膜的面积往往受限。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，包括微波源(1)、环形器(2)、功率计(3)、三销钉匹配调节器(4)、模式转换天线(5)、短路活塞(6)、石英窗口(7)、沉积基台(8)、矩形波导(9)、圆波导(13)、水负载(15)和密闭反应腔体(10)；/n所述微波源(1)依次与环形器(2)、功率计(3)、三销钉匹配调节器(4)、模式转换天线(5)、矩形波导(9)连接，所述环形器(2)连接有水负载(15)，所述矩形波导(9)的末端设置有短路活塞(6)，所述模式转换天线(5)位于沉积基台(8)的正上方，所述密闭反应腔体(10)的顶部设置有石英窗口(7)，所述矩形波导(9)通过模式转换天线(5)下...

【技术特征摘要】
1.微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，包括微波源(1)、环形器(2)、功率计(3)、三销钉匹配调节器(4)、模式转换天线(5)、短路活塞(6)、石英窗口(7)、沉积基台(8)、矩形波导(9)、圆波导(13)、水负载(15)和密闭反应腔体(10)；
所述微波源(1)依次与环形器(2)、功率计(3)、三销钉匹配调节器(4)、模式转换天线(5)、矩形波导(9)连接，所述环形器(2)连接有水负载(15)，所述矩形波导(9)的末端设置有短路活塞(6)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱铧丞，杨阳，黄卡玛，
申请(专利权)人：四川大学，
类型：新型
国别省市：四川;51