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本实用新型为一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括微波源、环形器、功率计、三销钉匹配调节器、模式转换天线、短路活塞、石英窗口、沉积基台、矩形波导、圆波导、水负载和密闭反应腔体；微波源依次与环形器、功率计、三销钉匹配调节器、模式转换天线、矩形...
该专利属于四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川大学授权不得商用。

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