传感器制造技术

根据实施方式，所涉及的传感器包括可动部件、第1对置电极、第2对置电极、第1电阻、第2电阻以及控制装置。可动部件包括第1电极和第2电极，能够进行振动。可动部件的振动包含第1方向的第1分量和第2方向的第2分量。第1电阻包括第1端部和第1另一端部。第2电阻包括第2端部和第2另一端部。第1另一端部与第1对置电极连接。第2另一端部与第2对置电极连接。控制装置包括实施第1动作的控制部。在第1动作中，变更第1电阻的电阻值、第2电阻的电阻值、第1端部的第1电压和第2端部的第2电压中的至少任一方，以使得第1分量的第1时间常数与第2分量的第2时间常数之差的绝对值减小。由此，提供能够提高精度的传感器。

【技术实现步骤摘要】
传感器本申请以日本专利申请2019-092045(申请日2019年5月15日)为基础，根据该申请享受优先权。本申请通过参照该申请而包含该申请的全部内容。
本专利技术的实施方式涉及传感器(sensor)。
技术介绍
存在陀螺仪传感器等传感器。关于传感器，希望提高检测精度。
技术实现思路
本专利技术的实施方式提供能够提高精度的传感器。根据本专利技术的实施方式，传感器包括可动部件、第1对置电极(对电极)、第2对置电极、第1电阻、第2电阻以及控制装置。所述可动部件包括第1电极和第2电极，能够进行振动。所述可动部件的所述振动包含沿第1方向的第1分量和沿与所述第1方向交叉的第2方向的第2分量。所述第1对置电极与所述第1电极对置。所述第2对置电极与所述第2电极对置。所述第1电阻包括第1端部和第1另一端部。所述第2电阻包括第2端部和第2另一端部。所述第1另一端部与所述第1对置电极电连接。所述第2另一端部与所述第2对置电极电连接。所述控制装置包括能够实施第1动作(操作)的控制部。所述第1动作包括取得所述第1分量和所述第2分量的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传感器，具备：/n可动部件，其包括第1电极和第2电极，能够进行振动，所述振动包含沿第1方向的第1分量和沿第2方向的第2分量，所述第2方向与所述第1方向交叉；/n第1对置电极，其与所述第1电极对置；/n第2对置电极，其与所述第2电极对置；/n第1电阻，其包括第1端部和第1另一端部；/n第2电阻，其包括第2端部和第2另一端部；以及/n控制装置，/n所述第1另一端部与所述第1对置电极电连接，/n所述第2另一端部与所述第2对置电极电连接，/n所述控制装置包括能够实施第1动作的控制部，/n所述第1动作包括：/n第1取得动作，取得所述第1分量和所述第2分量；以及/n第1变更动作，变更所述第1电阻的...

【技术特征摘要】
20190515 JP 2019-0920451.一种传感器，具备：
可动部件，其包括第1电极和第2电极，能够进行振动，所述振动包含沿第1方向的第1分量和沿第2方向的第2分量，所述第2方向与所述第1方向交叉；
第1对置电极，其与所述第1电极对置；
第2对置电极，其与所述第2电极对置；
第1电阻，其包括第1端部和第1另一端部；
第2电阻，其包括第2端部和第2另一端部；以及
控制装置，
所述第1另一端部与所述第1对置电极电连接，
所述第2另一端部与所述第2对置电极电连接，
所述控制装置包括能够实施第1动作的控制部，
所述第1动作包括：
第1取得动作，取得所述第1分量和所述第2分量；以及
第1变更动作，变更所述第1电阻的电阻值、所述第2电阻的电阻值、所述第1端部的第1电压和所述第2端部的第2电压中的至少任一方，以使得所述取得的所述第1分量的第1时间常数与所述取得的所述第2分量的第2时间常数之差的绝对值减小。


2.根据权利要求1所述的传感器，
所述控制部能够反复实施所述第1动作。


3.根据权利要求1所述的传感器，
所述第1电压发生了变化时的所述可动部件的位移的方向与所述第2电压发生了变化时的所述可动部件的位移的方向交叉。


4.根据权利要求1所述的传感器，还具备：
第1对置导电部；以及
第2对置导电部，
所述可动部件还包括第1导电部和第2导电部，
所述第1对置导电部与所述第1导电部对置，
所述第2对置导电部与所述第2导电部对置，
所述控制部能够进一步实施第2动作，
所述第2动作包括：
第2取得动作，取得所述第1分量和所述第2分量；以及
第2变更动作，变更所述第1对置导电部的第1对置导电部电压和所述第2对置导电部的第2对置导电部电压中的至少...

【专利技术属性】
技术研发人员：丸藤龙之介，池桥民雄，富泽泰，加治志织，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：日本;JP