惯性传感器、电子设备以及移动体制造技术

本申请涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有：基板；第一惯性传感器元件，设置于上述基板；盖，以覆盖上述第一惯性传感器元件的方式与上述基板接合；第一驱动信号端子，设置于上述盖的外侧，上述第一驱动信号端子是向上述第一惯性传感器元件施加的驱动信号用的端子；以及第一检测信号端子，设置于上述盖的外侧，上述第一检测信号端子是上述第一惯性传感器元件输出的检测信号用的端子，在俯视观察上述基板时，上述第一驱动信号端子与上述第一检测信号端子设置成之间隔着上述盖。

【技术实现步骤摘要】
惯性传感器、电子设备以及移动体
本专利技术涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。
技术介绍
专利文献1记载的惯性传感器具有：基板；设置于基板并在Y轴方向上并排配置的三轴加速度传感器元件和三轴角速度传感器元件；以及覆盖三轴加速度传感器元件和三轴角速度传感器元件并与基板接合的盖。另外，三轴加速度传感器元件具有：对X轴方向的加速度进行检测的X轴加速度传感器元件；对Y轴方向的加速度进行检测的Y轴加速度传感器元件；以及对Z轴方向的加速度进行检测的Z轴加速度传感器元件，这三个传感器元件在X轴方向上并排配置。同样，三轴角速度传感器元件具有：对绕X轴的角速度进行检测的X轴角速度传感器元件；对绕Y轴的角速度进行检测的Y轴角速度传感器元件；以及对绕Z轴的角速度进行检测的Z轴角速度传感器元件，这三个传感器元件在X轴方向上并排配置。专利文献1：日本专利特开2015-177153号公报然而，在专利文献1的惯性传感器中，与X轴加速度传感器元件电连接的多个端子、与Y轴加速度传感器元件电连接的多个端子以及与Z轴加速度传感器元件电连接的多个端子分别相对于盖设置在相本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种惯性传感器，其特征在于，具有：/n基板；/n第一惯性传感器元件，设置于所述基板；/n盖，以覆盖所述第一惯性传感器元件的方式与所述基板接合；/n第一驱动信号端子，设置于所述盖的外侧，所述第一驱动信号端子是向所述第一惯性传感器元件施加的驱动信号用的端子；以及/n第一检测信号端子，设置于所述盖的外侧，所述第一检测信号端子是所述第一惯性传感器元件输出的检测信号用的端子，/n在俯视观察所述基板时，所述第一驱动信号端子与所述第一检测信号端子设置成之间隔着所述盖。/n

【技术特征摘要】
20190228 JP 2019-0367441.一种惯性传感器，其特征在于，具有：
基板；
第一惯性传感器元件，设置于所述基板；
盖，以覆盖所述第一惯性传感器元件的方式与所述基板接合；
第一驱动信号端子，设置于所述盖的外侧，所述第一驱动信号端子是向所述第一惯性传感器元件施加的驱动信号用的端子；以及
第一检测信号端子，设置于所述盖的外侧，所述第一检测信号端子是所述第一惯性传感器元件输出的检测信号用的端子，
在俯视观察所述基板时，所述第一驱动信号端子与所述第一检测信号端子设置成之间隔着所述盖。


2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述惯性传感器具有：
第二惯性传感器元件，设置于所述基板；
第二驱动信号端子，设置于所述盖的外侧，所述第二驱动信号端子是向所述第二惯性传感器元件施加的驱动信号用的端子；以及
第二检测信号端子，设置于所述盖的外侧，所述第二检测信号端子是所述第二惯性传感器元件输出的检测信号用的端子，
在俯视观察所述基板时，所述第二驱动信号端子与所述第二检测信号端子设置成之间隔着所述盖，
所述第二驱动信号端子相对于所述盖位于与所述第一驱动信号端子相同的一侧，
所述第二检测信号端子相对于所述盖位于与所述第一检测信号端子相同的一侧。


3.根据权利要求1或2所述的惯性传感器，其特征在于，
所述第一惯性传感器元件是检测角速度的陀螺仪传感器元件，并具有相对于所述基板进行振动的驱动可动体，
所述惯性传感器具有第一拾取信号端子，所述第一拾取信号端子设置于所述盖的外侧，所述第一拾取信号端子是所述第一惯性传感器元件输出的与所述驱动可动体的振动相应的拾取信号用的端子，
所述第一拾取信号端子相对于所述盖位于与所述第一驱动信号端子相同的一侧。


4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：泷泽照夫，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP