下载惯性传感器、电子设备以及移动体的技术资料

文档序号:25518052

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本申请涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有:基板;第一惯性传感器元件,设置于上述基板;盖,以覆盖上述第一惯性传感器元件的方式与上述基板接合;第一驱动信号端子,设置于上述盖的外侧,上述第一驱动信号端子是向上述第一惯性传感器元件施...
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