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惯性传感器、电子设备以及移动体制造技术
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文档序号:25518052
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本申请涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有:基板;第一惯性传感器元件,设置于上述基板;盖,以覆盖上述第一惯性传感器元件的方式与上述基板接合;第一驱动信号端子,设置于上述盖的外侧,上述第一驱动信号端子是向上述第一惯性传感器元件施...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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