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文档序号:26371540
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根据实施方式,所涉及的传感器包括可动部件、第1对置电极、第2对置电极、第1电阻、第2电阻以及控制装置。可动部件包括第1电极和第2电极,能够进行振动。可动部件的振动包含第1方向的第1分量和第2方向的第2分量。第1电阻包括第1端部和第1另一端部...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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