【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸发镀膜载体
本专利技术涉及镀膜加工
,具体涉及一种真空蒸发镀膜载体。
技术介绍
薄膜的制备方法很多,常见的有喷涂法、真空蒸发法、化学气相沉积、反应粒子离入、磁控溅射等。由于磁控溅射具有良好的可控性及易于获得大面积的均匀的薄膜,应用比较普遍。而现有的镀膜作业中,只能对工件进行单面镀膜,对需要双面镀膜的工件,往往先对一侧进行镀膜,在拆卸更换另一侧进行镀膜,操作不便,并且,现有的镀膜作业中,因为镀膜载体固定,往往出现镀膜不均匀的现象。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种真空蒸发镀膜载体,无需拆卸即可实现对待镀膜工件的双面镀膜,同时镀膜均匀,提高工作效率。本专利技术提供了如下的技术方案:一种真空蒸发镀膜载体,包括载体本体与承载底座,所述载体本体内设有承载板,所述承载板上设有容置孔,所述承载板与所述载体本体的内壁之间设有间隙,所述承载板的一侧垂直连接有转动轴,所述转动轴的一端穿过所述载体本体的内壁且连接有转盘,所述承载板能够以所述转动轴为轴在竖直面内翻转;所述承载底座为 ...
【技术保护点】
1.一种真空蒸发镀膜载体,其特征在于,包括载体本体与承载底座,所述载体本体内设有承载板,所述承载板上设有容置孔,所述承载板与所述载体本体的内壁之间设有间隙,所述承载板的一侧垂直连接有转动轴,所述转动轴的一端穿过所述载体本体的内壁且连接有转盘,所述承载板能够以所述转动轴为轴在竖直面内翻转;/n所述承载底座为无顶空心底座,所述承载底座的底部内壁上设有与所述载体本体底部中心连接的驱动电机,所述驱动电机与所述承载底座之间设有减震板。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空蒸发镀膜载体,其特征在于,包括载体本体与承载底座,所述载体本体内设有承载板,所述承载板上设有容置孔,所述承载板与所述载体本体的内壁之间设有间隙,所述承载板的一侧垂直连接有转动轴,所述转动轴的一端穿过所述载体本体的内壁且连接有转盘,所述承载板能够以所述转动轴为轴在竖直面内翻转;
所述承载底座为无顶空心底座,所述承载底座的底部内壁上设有与所述载体本体底部中心连接的驱动电机,所述驱动电机与所述承载底座之间设有减震板。
2.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜载体,其特征在于,所述转动轴与所述承载板的侧面中部固定连接,所述承载板与所述转动轴相背的一侧设有转动柱,所述转动柱与所述转动轴同轴,所述载体本体的侧壁设有嵌孔,所述转动柱与所述承载板相背的一侧设于所述嵌孔内且能够在所述嵌孔内转动。
3.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜载体,其特征在于,所述转盘上设有两个以所述转盘中心点对称分布的固定孔,所述载体本体侧壁上设有一个与所述固定孔匹...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈珂珩,
申请(专利权)人:苏州瑞康真空科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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