微机电流体装置的控制电路制造方法及图纸

一种微机电流体装置的控制电路，包含一驱动电极以及多个驱动单元。每一驱动单元包含一微机电流体装置、一第一晶体管以及一控制单元。微机电流体装置电性连接驱动电极。第一晶体管电性连接微机电流体装置。控制单元电性连接第一晶体管。控制单元输入一控制信号给第一晶体管，使得相对应的驱动单元电性导通，来驱动微机电流体装置，借以完成流体的传输。

【技术实现步骤摘要】
微机电流体装置的控制电路
本案是关于一种控制电路，尤指一种微机电流体装置的控制电路。
技术介绍
随着科技的日新月异，传统的流体输送装置已朝向装置微小化、流量极大化的方向进行。在应用上也愈来愈多元化，举凡工业应用、生医应用、医疗保健、电子散热到近来热门的穿戴式装置皆可见它的踪影。然而，近年来微机电相关制程以一体成型的方式来达成流体输送装置的微小化，而微小化后的流体输送装置需要一控制元件去选择要作动的微机电流体装置。请参阅图1A以及图1B，传统微机电流体装置芯片9具有一芯片本体9a、多个微机电流体装置9b以及多个控制电极9c。微机电流体装置9b以及控制电极9c设置于芯片本体9a上。每一微机电流体装置9b连接二控制电极9c，因此在微机电流体装置芯片9上的控制电极9c数量难以减少，进而增加生产成本。此外，在传统微机电流体装置的控制电路90中，一微机电流体装置90b需搭配至少一控制电极90a以及一晶体管90c，借以驱动微机电流体装置90b的作动。因此在控制电路90中也需设置有一定数量的控制电极90a以及晶体管90c，进而使得生产成本无法压本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微机电流体装置的控制电路，包含：/n一驱动电极；以及/n多个驱动单元，每一该驱动单元包含：/n一微机电流体装置，电性连接该驱动电极；/n一第一晶体管，电性连接该微机电流体装置；以及/n一控制单元，电性连接该第一晶体管；/n其中，该控制单元输入一控制信号给该第一晶体管，使得相对应的该驱动单元电性导通，来驱动该微机电流体装置，借以完成流体的传输。/n

【技术特征摘要】
1.一种微机电流体装置的控制电路，包含：
一驱动电极；以及
多个驱动单元，每一该驱动单元包含：
一微机电流体装置，电性连接该驱动电极；
一第一晶体管，电性连接该微机电流体装置；以及
一控制单元，电性连接该第一晶体管；
其中，该控制单元输入一控制信号给该第一晶体管，使得相对应的该驱动单元电性导通，来驱动该微机电流体装置，借以完成流体的传输。


2.如权利要求1所述的微机电流体装置的控制电路，其特征在于，该控制单元包含一第二晶体管，电性连接相对应的该第一晶体管。


3.如权利要求1所述的微机电流体装置的控制电路，其特征在于，该控制单元包含一第二晶体管以及一第三晶体管，该第二晶体管电性连接相对应的该第一晶体管，该第三晶体管电性连接该第二晶体管。


4.如权利要求1所述的微机电流体装置的控制电路，其特征在于，该控制单元包含一逻辑元件，电性连接相对应的该第一晶体管。


5.如权利要求1所述的微机电流体装置的控制电路，其特征在于，该第一晶体管为一N型金属氧化物半导体场效晶体管(NMOS)、一P型金属氧化物半导体场效晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫皓然，余荣侯，张正明，戴贤忠，廖文雄，黄启峰，韩永隆，郭俊毅，
申请(专利权)人：研能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71