载荷传感器的电压调整方法技术

提供载荷传感器的电压调整方法，使用载荷传感器适当地测量载荷。对电压调整部(9)进行调整(第1～第3调整工序)以使得即使在对卡盘工作台(2)中的第1传感器(71)、第2传感器(72)以及第3传感器(73)中的任意传感器的附近施加了载荷的情况下，在测量器(8)中计算的电压值成为相同的值。并且，在重复工序中，重复进行这样的第1～第3调整工序。通过这样调整电压调整部(9)，当各传感器(71～73)承受规定的载荷时即在卡盘工作台(2)中的各传感器(71～73)的附近承受规定的载荷时，能够使测量器(8)所计算的合计电压相等，因此能够使测量器(8)中的载荷的测量值相等。

【技术实现步骤摘要】
载荷传感器的电压调整方法
本专利技术涉及载荷传感器的电压调整方法。
技术介绍
为了强化晶片的抗弯强度，例如通过由研磨垫实现的研磨工序将由于磨削磨具的磨削而形成于晶片的磨削痕去除。研磨加工是将研磨垫以规定的载荷按压至晶片而实施的。即，研磨去除量根据载荷的大小而改变。在多个研磨装置中，通过利用相同的载荷进行研磨，能够使研磨去除量相同。例如如专利文献1所示，晶片从研磨垫承受的载荷如下进行检测。将由压电元件构成的载荷传感器分别配设于以卡盘工作台的中心为重心的正三角形的顶点。获取使用这三个载荷传感器测量的载荷的合计值，将该合计值作为晶片所承受的载荷。载荷传感器在对压电元件赋予规定的压缩压力(加压)而被压缩一定程度的状态下配设于卡盘工作台或研磨单元。另外，关于载荷传感器的输出值，按照在无载荷时成为零的方式进行零调整。并且，当载荷传感器承受载荷而被压缩时，产生正的电压。将该电压转换成载荷，从而测量施加至卡盘工作台上的晶片的载荷。专利文献1：日本特开2015-036166号公报如上所述，对三个载荷传感器施加规定的加压。这里，当每个载荷传感器的加压不同时，即使承受相同的载荷，从各载荷传感器产生的电压也会产生差异。为了防止产生这样的差异，需要使施加至三个载荷传感器的加压均等。但是，难以对三个载荷传感器均等地实施加压。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供载荷传感器的电压调整方法，使用这样的载荷传感器适当地测量载荷。本专利技术的载荷传感器的电压调整方法(本调整方法)中，将产生与所承受的载荷相应的电压的至少三个载荷传感器配设于三角形的顶点，通过该至少三个载荷传感器对载荷承受部进行支承，当由测量器根据从该至少三个载荷传感器产生的电压而对施加至该载荷承受部的载荷进行测量时，通过配设于各载荷传感器与该测量器之间的电压调整部来调整该测量器所接收的来自该各载荷传感器的电压，以使得当该各载荷传感器承受规定的载荷时该测量器接收相同的电压，其中，该载荷传感器的电压调整方法具有如下的工序：准备工序，准备载荷赋予单元和该测量器，该载荷赋予单元对该载荷承受部施加规定的载荷，该测量器接收从作为该至少三个载荷传感器的第1传感器、第2传感器以及第3传感器分别产生的电压，计算出它们的合计电压，根据该合计电压而测量施加至该载荷承受部的载荷；以及重复工序，其包含第1调整工序、第2调整工序以及第3调整工序并且重复进行该第1调整工序、第2调整工序以及第3调整工序，所述第1调整工序通过该载荷赋予单元对该载荷承受部中的该第1传感器的附近赋予该规定的载荷，调整该第1传感器用的电压调整部以使得该测量器所计算的该合计电压成为与该规定的载荷对应的电压，所述第2调整工序通过该载荷赋予单元对该载荷承受部中的该第2传感器的附近赋予该规定的载荷，调整该第2传感器用的电压调整部以使得该测量器所计算的该合计电压成为与该规定的载荷对应的电压，所述第3调整工序通过该载荷赋予单元对该载荷承受部中的该第3传感器的附近赋予该规定的载荷，调整该第3传感器用的电压调整部以使得该测量器所计算的该合计电压成为与该规定的载荷对应的电压，通过实施该重复工序，当该各载荷传感器承受规定的载荷时该测量器能够接收相同的电压。在电压调整方法中，该至少三个载荷传感器可以配设于正三角形的顶点，该正三角形的重心与该载荷承受部的中心可以一致。在本调整方法中的重复工序中，实施第1～第3调整工序，调整电压调整部以使得在对载荷承受部中的第1～第3传感器中的任意传感器的附近施加载荷的情况下，在测量器中计算的合计电压成为相同的值的。并且，在重复工序中，重复进行这样的第1～第3调整工序。通过这样调整电压调整部，在各载荷传感器承受规定的载荷时即在载荷承受部中的各载荷传感器的附近承受规定的载荷时，能够使测量器所计算的合计电压相等，因此能够使测量器中的载荷的测量值相等。这里，载荷承受部例如是研磨装置中的卡盘工作台或使研磨垫单元旋转的主轴。因此，通过本调整方法对研磨装置进行调整，在对晶片进行研磨加工时，能够更高精度地控制施加至晶片的载荷。其结果是，能够提高研磨去除量的精度。另外，通过本调整方法对多个研磨装置进行调整，从而在对这些多个研磨装置的载荷承受部施加相同的载荷的情况下，也能够使测量器中的载荷的测量值相等。由此，在使用多个研磨装置对晶片进行研磨加工的情况下，也能够使每个研磨装置的加工结果大致均匀。附图说明图1是示出研磨装置的结构的立体图。图2是示出卡盘工作台的附近的结构的说明图。图3是示出卡盘工作台的保持面与载荷传感器的位置关系的说明图。图4是示出在卡盘工作台上载置有载荷赋予单元的状态的说明图。图5的(a)～(f)是示出重复工序中的第1～第3调整工序所带来的测量器中的载荷值的变化的说明图。图6是示出在壳体与支托之间配设有载荷传感器的方式的剖视图。图7是示出主轴与载荷传感器的位置关系的说明图。标号说明1：研磨装置；10：基座；11：柱；12：罩；13：折皱；2：卡盘工作台；20：吸引部；20a：保持面；21：框体；22：基台；3：研磨单元；30：主轴；31：壳体；32：电动机；33：安装座；34：研磨垫单元；340：圆板；341：研磨部件；4：研磨进给单元；40：滚珠丝杠；41：导轨；42：电动机；43：升降板；44：支托；6：载荷赋予单元；60：气缸；61：活塞；62：空气源；71：第1传感器；72：第2传感器；73：第3传感器；74：螺钉；8：测量器；9：电压调整部；91：第1调整器；92：第2调整器；93：第3调整器；W：晶片；Wa：晶片的正面。具体实施方式1关于研磨装置图1所示的研磨装置1是使研磨部件341与卡盘工作台2所保持的晶片W抵接而对晶片W进行研磨的研磨装置。以下，对研磨装置1进行说明。如图1所示，研磨装置1具有：基座10，其沿着Y轴方向延伸设置；以及柱11，其竖立设置于基座10上的+Y方向侧。在研磨装置1的基座10上具有卡盘工作台2。卡盘工作台2是对晶片W进行保持的圆板形状的工作台，该卡盘工作台2具有：吸引部20，其具有保持面20a；以及框体21，其对吸引部20进行支承。在将晶片W载置于保持面20a的状态下，将通过未图示的吸引源发挥的吸引力传递至保持面20a，从而通过保持面20a对晶片W进行吸引保持。在卡盘工作台2的周围配设有罩12。在罩12上伸缩自如地连结有折皱13。罩12和卡盘工作台2在晶片W的研磨加工时通过配设在基座10的内部的Y轴方向的移动单元而在Y轴方向上一体地往复移动。折皱13随着该罩12的Y轴方向的移动而伸缩。在柱11的-Y方向侧的侧面上具有使研磨单元3升降移动的研磨进给单元4。研磨进给单元4具有：滚珠丝杠40，其具有Z轴方向的旋转轴；一对导轨41，它们与滚珠丝杠40平行地配设；电动机42，其使滚珠丝杠40转动；升降板43，其与导轨41滑动接触；以及支托44，其与升降板43连结。在升降板43的背面上形成有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载荷传感器的电压调整方法，将产生与所承受的载荷相应的电压的至少三个载荷传感器配设于三角形的顶点，通过该至少三个载荷传感器对载荷承受部进行支承，当由测量器根据从该至少三个载荷传感器产生的电压而对施加至该载荷承受部的载荷进行测量时，通过配设于各载荷传感器与该测量器之间的电压调整部来调整该测量器所接收的来自该各载荷传感器的电压，以使得当该各载荷传感器承受规定的载荷时该测量器接收相同的电压，其中，/n该载荷传感器的电压调整方法具有如下的工序：/n准备工序，准备载荷赋予单元和该测量器，该载荷赋予单元对该载荷承受部施加规定的载荷，该测量器接收从作为该至少三个载荷传感器的第1传感器、第2传感器以及第3传感器分别产生的电压，计算出它们的合计电压，根据该合计电压而测量施加至该载荷承受部的载荷；以及/n重复工序，其包含第1调整工序、第2调整工序以及第3调整工序并且重复进行该第1调整工序、第2调整工序以及第3调整工序，所述第1调整工序通过该载荷赋予单元对该载荷承受部中的该第1传感器的附近赋予该规定的载荷，调整该第1传感器用的电压调整部以使得该测量器所计算的该合计电压成为与该规定的载荷对应的电压，所述第2调整工序通过该载荷赋予单元对该载荷承受部中的该第2传感器的附近赋予该规定的载荷，调整该第2传感器用的电压调整部以使得该测量器所计算的该合计电压成为与该规定的载荷对应的电压，所述第3调整工序通过该载荷赋予单元对该载荷承受部中的该第3传感器的附近赋予该规定的载荷，调整该第3传感器用的电压调整部以使得该测量器所计算的该合计电压成为与该规定的载荷对应的电压，/n通过实施该重复工序，当该各载荷传感器承受规定的载荷时该测量器能够接收相同的电压。/n...

【技术特征摘要】
20190514 JP 2019-0912261.一种载荷传感器的电压调整方法，将产生与所承受的载荷相应的电压的至少三个载荷传感器配设于三角形的顶点，通过该至少三个载荷传感器对载荷承受部进行支承，当由测量器根据从该至少三个载荷传感器产生的电压而对施加至该载荷承受部的载荷进行测量时，通过配设于各载荷传感器与该测量器之间的电压调整部来调整该测量器所接收的来自该各载荷传感器的电压，以使得当该各载荷传感器承受规定的载荷时该测量器接收相同的电压，其中，
该载荷传感器的电压调整方法具有如下的工序：
准备工序，准备载荷赋予单元和该测量器，该载荷赋予单元对该载荷承受部施加规定的载荷，该测量器接收从作为该至少三个载荷传感器的第1传感器、第2传感器以及第3传感器分别产生的电压，计算出它们的合计电压，根据该合计电压而测量施加至该载荷承受部的载荷；以及
重复工序，其包含第1调整工序、第2调整工序以及第3调整工序并...

【专利技术属性】
技术研发人员：久保徹雄，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP