载荷传感器的电压调整方法技术

提供载荷传感器的电压调整方法，使用载荷传感器适当地测量载荷。对电压调整部(9)进行调整(第1～第3调整工序)以使得即使在对卡盘工作台(2)中的第1传感器(71)、第2传感器(72)以及第3传感器(73)中的任意传感器的附近施加了载荷的情况下，在测量器(8)中计算的电压值成为相同的值。并且，在重复工序中，重复进行这样的第1～第3调整工序。通过这样调整电压调整部(9)，当各传感器(71～73)承受规定的载荷时即在卡盘工作台(2)中的各传感器(71～73)的附近承受规定的载荷时，能够使测量器(8)所计算的合计电压相等，因此能够使测量器(8)中的载荷的测量值相等。

【技术实现步骤摘要】
载荷传感器的电压调整方法
本专利技术涉及载荷传感器的电压调整方法。
技术介绍
为了强化晶片的抗弯强度，例如通过由研磨垫实现的研磨工序将由于磨削磨具的磨削而形成于晶片的磨削痕去除。研磨加工是将研磨垫以规定的载荷按压至晶片而实施的。即，研磨去除量根据载荷的大小而改变。在多个研磨装置中，通过利用相同的载荷进行研磨，能够使研磨去除量相同。例如如专利文献1所示，晶片从研磨垫承受的载荷如下进行检测。将由压电元件构成的载荷传感器分别配设于以卡盘工作台的中心为重心的正三角形的顶点。获取使用这三个载荷传感器测量的载荷的合计值，将该合计值作为晶片所承受的载荷。载荷传感器在对压电元件赋予规定的压缩压力(加压)而被压缩一定程度的状态下配设于卡盘工作台或研磨单元。另外，关于载荷传感器的输出值，按照在无载荷时成为零的方式进行零调整。并且，当载荷传感器承受载荷而被压缩时，产生正的电压。将该电压转换成载荷，从而测量施加至卡盘工作台上的晶片的载荷。专利文献1：日本特开2015-036166号公报如上所述，对三个载荷传感器施加规定的加压。这里，当每本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载荷传感器的电压调整方法，将产生与所承受的载荷相应的电压的至少三个载荷传感器配设于三角形的顶点，通过该至少三个载荷传感器对载荷承受部进行支承，当由测量器根据从该至少三个载荷传感器产生的电压而对施加至该载荷承受部的载荷进行测量时，通过配设于各载荷传感器与该测量器之间的电压调整部来调整该测量器所接收的来自该各载荷传感器的电压，以使得当该各载荷传感器承受规定的载荷时该测量器接收相同的电压，其中，/n该载荷传感器的电压调整方法具有如下的工序：/n准备工序，准备载荷赋予单元和该测量器，该载荷赋予单元对该载荷承受部施加规定的载荷，该测量器接收从作为该至少三个载荷传感器的第1传感器、第2传感器以及第...

【技术特征摘要】
20190514 JP 2019-0912261.一种载荷传感器的电压调整方法，将产生与所承受的载荷相应的电压的至少三个载荷传感器配设于三角形的顶点，通过该至少三个载荷传感器对载荷承受部进行支承，当由测量器根据从该至少三个载荷传感器产生的电压而对施加至该载荷承受部的载荷进行测量时，通过配设于各载荷传感器与该测量器之间的电压调整部来调整该测量器所接收的来自该各载荷传感器的电压，以使得当该各载荷传感器承受规定的载荷时该测量器接收相同的电压，其中，
该载荷传感器的电压调整方法具有如下的工序：
准备工序，准备载荷赋予单元和该测量器，该载荷赋予单元对该载荷承受部施加规定的载荷，该测量器接收从作为该至少三个载荷传感器的第1传感器、第2传感器以及第3传感器分别产生的电压，计算出它们的合计电压，根据该合计电压而测量施加至该载荷承受部的载荷；以及
重复工序，其包含第1调整工序、第2调整工序以及第3调整工序并...

【专利技术属性】
技术研发人员：久保徹雄，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP