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提供载荷传感器的电压调整方法，使用载荷传感器适当地测量载荷。对电压调整部(9)进行调整(第1～第3调整工序)以使得即使在对卡盘工作台(2)中的第1传感器(71)、第2传感器(72)以及第3传感器(73)中的任意传感器的附近施加了载荷的情况下...
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