高性能膜状触摸传感器制造技术

本发明专利技术的高性能触摸传感器包含基板、形成于上述基板上的第一感应电极、形成于上述第一感应电极上的绝缘层、形成于上述绝缘层上的第二感应电极、以及形成于上述第二感应电极上的保护层，上述第一感应电极和上述第二感应电极中的一电极具有包含层叠的金属氧化物和薄膜金属的三层结构，另一电极包含金属图案。根据本发明专利技术，能够实现同时满足低电阻特性和光学特性、且高分辨率和大面积的触摸传感器，容易进行高温工序，能够使基材多样化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】高性能膜状触摸传感器
本专利技术涉及触摸传感器，更具体而言，涉及能够同时满足低电阻特性和光学特性，并且还能够实现高分辨率和大面积的高性能触摸传感器。
技术介绍
一般而言，触摸传感器是使用者用手或触摸笔等触摸显示在屏幕上的图像时响应该触摸而感知触摸位置的装置。根据应用于触摸传感器的技术，有电容型、电阻膜型、使用红外线或超声波的表面声波型等各种各样的类型。这样的触摸传感器一般具有安装于液晶显示器(LCD)或有机发光二极管(OLED)之类的显示装置的结构。近年来，对于使用高分子膜来代替玻璃基板作为基材膜的更薄、更轻且可弯曲的膜状触摸传感器进行了积极的研究。近来，随着将各种各样的功能集成于移动设备，应用高分辨率触摸传感器的移动设备逐渐增多。特别是，正在开发能够通过高分辨率触摸传感器来识别使用者的指纹从而应用于各种安全签名的应用。另一方面，为了使触摸传感器实施指纹识别功能，构成触摸传感器的单位感应单元的间距应当足够微小以感知使用者的具有微小间隔的指纹的脊和谷之间的电容变化。该情况下，在将单位感应单元微小化的过程中，可能引发产品缺陷本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高性能触摸传感器，其包含：/n基板；/n形成于所述基板上的第一感应电极；/n形成于所述第一感应电极上的绝缘层；/n形成于所述绝缘层上的第二感应电极；以及/n形成于所述第二感应电极上的保护层，/n其中，所述第一感应电极和所述第二感应电极中的一电极具有包含层叠的金属氧化物和薄膜金属的三层结构，另一电极包含金属图案。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180330 KR 10-2018-0037377;20190328 KR 10-2019-001.一种高性能触摸传感器，其包含：
基板；
形成于所述基板上的第一感应电极；
形成于所述第一感应电极上的绝缘层；
形成于所述绝缘层上的第二感应电极；以及
形成于所述第二感应电极上的保护层，
其中，所述第一感应电极和所述第二感应电极中的一电极具有包含层叠的金属氧化物和薄膜金属的三层结构，另一电极包含金属图案。


2.根据权利要求1所述的高性能触摸传感器，其特征在于，在所述第一感应电极和所述第二感应电极中包含所述金属图案的电极的平面图中，构成所述金属图案的单位图案相互不交叉。


3.根据权利要求2所述的高性能触摸传感器，其特征在于，构成所述金属图案的单位图案具有条带形状。


4.根据权利要求3所述的高性能触摸传感器，其特征在于，所述具有条带形状的单位图案的界面具有弯曲的形状。


5.根据权利要求1所述的高性能触摸传感器，其进一步包含与所述第一感应电极和所述第二感应电极中包含所述金属图案的电极连接的焊盘电极。


6.根据权利要求5所述的高性能触摸传感器，其特征在于，所述焊盘电极由与所述第一感应电极和所述第二感应电极中包含所述金属图案的电极相同的材料形成。


7.根据权利要求5所述的高性能触摸传感器，其特征在于，所述保护层部分覆盖所述焊盘电极。


8.根据权利要求5所述的高性能触摸传感器，其进一步包含形成于所述焊盘电极上而保护所述焊盘电极的焊盘保护电极。


9.根据权利要求1所述的高性能触摸传感器，其特征在于，所述第一感应电极和所述第二感应电极中具有所述三层结构的电极具有所述金属氧化物、所述薄膜金属以及所述金属氧化物依次层叠...

【专利技术属性】
技术研发人员：李在显，尹柱仁，金键，崔秉搢，
申请(专利权)人：东友精细化工有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR