显示面板的制造系统及其制造方法及用于其中的检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种用来提高最终制造良率经改善的制造系统，以及用于其中的检查装置。通过处理程序进行管理的显示装置的制造系统包括：面板基板制造机构（步骤５０），其形成半导体材料的薄膜以及形成像素的驱动电路；检查机构（步骤２０），其检查所制造的面板基板；以及安装机构（步骤３０），其将包含有机ＥＬ或液晶材料的显示媒体安装于经检查的面板基板上。检查机构所具有的检查装置决定检查时像素的各驱动电路中驱动电压的阈值，该阈值可当做面板基板制造机构中决定基板制造参数的基准。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种有机EL(0LED)或液晶等平板显示器的面板基板的制造系统，以及此系统中所采用的制造方法，特别是关于一种制造步骤中与有机EL或液晶装配前的步骤中的面板基板检查方法，以及根据该检查结果实施的制造参数的修正方法。
技术介绍
在有机EL或液晶显示器的制造步骤中实施有各种品质检查。关于显示器制造的最终阶段中判定显示图像的画质即所谓官能检查，不使用检查装置，较多的是通过目测判定。对此，在制造的中间阶段，通常可以直接使用电性或光学方法检查面板基板。至于相关检查，可以使用例如向像素电容进行充放电，提取布线电容的方法(参照专利文献1、专利文献2)。然而，通常，用来形成包含薄膜晶体管(TFT)的驱动电路的面板基板可以使用硅系基板，根据其结晶状态的不同，众所周知的是非晶硅基板、多晶硅基板或低温多晶硅基板等。其中，存有以下缺点非晶硅基板虽然可以于低温工序中容易地形成，但装置形成时载体的移动度较小，另一方面，多晶硅基板于装置形成时，虽然载体具有较高移动度，但需要高温工序，在工序方面，面板构造等存在各种限制。对此，低温多晶硅具有可以通过低温基板形成工序，实现实用上具有充分高的移动度的结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示装置的制造系统，其通过处理程序进行管理，且具有面板基板制造机构，其形成半导体材料的薄膜以及形成像素的驱动电路，检查机构，其检查所制造的面板基板，以及安装机构，其在经检查的上述面板基板上安装包含有机ＥＬ或液晶材料的显示媒体；其特征在于：上述检查机构决定检查时上述各像素的上述驱动电路中驱动电压的阈值，该阈值供作为上述面板基板制造机构中决定基板制造参数的基准。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：岸田明人，乘松秀行，
申请(专利权)人：安捷伦科技公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]