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本发明提供一种用来提高最终制造良率经改善的制造系统，以及用于其中的检查装置。通过处理程序进行管理的显示装置的制造系统包括：面板基板制造机构（步骤５０），其形成半导体材料的薄膜以及形成像素的驱动电路；检查机构（步骤２０），其检查所制造的面板基...
该专利属于安捷伦科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过安捷伦科技公司授权不得商用。

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