圆形梳齿式微型电场传感器制造技术

一种圆形梳齿式微型电场传感器，包括：梳状固定电极（１）和梳状屏蔽电极（２）沿振动方向间隔分布在圆周上；在梳状屏蔽电极（２）上开有栅孔（４）；感应电极（３）放置在栅孔（４）下面。本发明专利技术的传感器工作时采用梳齿式驱动来实现屏蔽电极相对于感应电机的振动，位移精准，周期性好；感应电极采用多组并联，从而加大了检测信号的强度，便于测量较弱电场信号；由于感应电极采用的是圆形对称分布，从而可以使用差分电路降低系统噪声对系统检测的影响；屏蔽电极上栅孔的分布采用的是少量多组的分布原则，从而有效的降低了单块屏蔽电极上栅孔间的信号干扰。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器，特别涉及圆形梳齿式微型电场传感器。
技术介绍
电场传感器广泛应用于大气环流研究、地质灾害预报、气象及沙尘的预报、大气污染检测等地学领域，以及电机端部和高压架空线下电场分布的测量，电气密封装置内放电现象的分析，超高压输电线路附近离子流场[和长间隙辉光放电特性等工业生产领域，在航空航天，静电防护、生物生理、试验及生活环境监测方面也有重要应用。电场传感器的种类很多，大体上可以根据其工作原理划分为机械式和光学式两种。早期出现的机械式电场传感器主要有旋片式、双球式等，其优点是结构简单、制作较为方便；缺点为体积大，从而带来便携性较差、成本较高、使用范围较小等缺陷。光学式电场传感器的优点是系统响应速度较快、噪声低，缺点为制造精度要求高，从而带来成本较高、安装较为复杂，且其检测范围一般限于较强电场。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种圆形梳齿式微型电场传感器。为实现上述目的，一种圆形梳齿式微型电场传感器，包括梳状固定电极1和梳状屏蔽电极2沿振动方向间隔分布在圆周上；在梳状屏蔽电极2上开有栅孔4；感应电极3放置在栅孔4下面。本专利技术在水平振动式电场传感器的基础上，进一步提本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种圆形梳齿式微型电场传感器，包括：梳状固定电极（１）和梳状屏蔽电极（２）沿振动方向间隔分布在圆周上；在梳状屏蔽电极（２）上开有栅孔（４）；感应电极（３）放置在栅孔（４）下面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：夏善红，陶虎，
申请(专利权)人：中国科学院电子学研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]