铰链式多维电场传感器制造技术

一种铰链式多维电场传感器，包括驱动部分和感应部分，其特征在于所述感应部分包括屏蔽电极（３）、感应电极（４）、铰链（５）和基座（６），所述感应电极（４）安装在基座（６）上，屏蔽电极（３）通过铰链（５）安装在基座（６）上。本发明专利技术采取了一种全新的电场探测办法，从而有效的解决了多维电场的探测问题，且结构简单，加工方便，易于批量生产。与上述的垂直振动式和水平振动式电场传感器相比，本发明专利技术突出的特点是：传感器工作时采用铰链式结构使屏蔽电极相对感应电极转动，定位准确，且勿须在屏蔽电极上开孔，从而加强了屏蔽电极在高频转动下的稳定性；可以方便的实现一维和一维以上的电场探测；驱动方式灵活，易于实现。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术设计传感器，特别涉及铰链式多维电场传感器。
技术介绍
电场传感器广泛应用于大气环流研究、气象预报、空气污染检测、雷电事实时探测等各种领域。根据其工作原理大体可以分为机械式和光学式两种。早期出现的机械式电场传感器主要有旋片式、双球式等，其优点是结构简单、制作较为方便；缺点为体积大，从而带来便携性较差、成本较高、使用范围较小等缺陷。光学式电场传感器的优点是系统响应速度较快、噪声低，缺点为制造精度要求高，从而带来成本较高、安装较为复杂，且其检测范围一般限于较强电场。由于微细加工技术的快速发展，已经出现了基于微细加工技术的机械式电场传感器，依照其工作方式主要可分垂直振动式和水平振动式电场传感器，这类传感器的优点是体积小，成本较低，易于批量生产。但其结构相对复杂，且一般来说只能探测一维电场，在实际应用中有一定的局限性，当遇到需要探测多维电场，比如说二维或三维电场时，必须使用多个传感器分别探测各维电场信号再加以综合，从而会增加成本，而且会带来安装和调试上的难度。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种铰链式多维电场传感器。为实现上述目的，一种铰链式多维电场传感器，包括驱动部分和感应部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铰链式多维电场传感器，包括驱动部分和感应部分，其特征在于所述感应部分包括屏蔽电极（３）、感应电极（４）、铰链（５）和基座（６），所述感应电极（４）安装在基座（６）上，屏蔽电极（３）通过铰链（５）安装在基座（６）上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：夏善红，陶虎，
申请(专利权)人：中国科学院电子学研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]