下载铰链式多维电场传感器的技术资料

文档序号:2633738

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一种铰链式多维电场传感器,包括驱动部分和感应部分,其特征在于所述感应部分包括屏蔽电极(3)、感应电极(4)、铰链(5)和基座(6),所述感应电极(4)安装在基座(6)上,屏蔽电极(3)通过铰链(5)安装在基座(6)上。本发明采取了一种全新的...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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