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一种圆形梳齿式微型电场传感器，包括：梳状固定电极（１）和梳状屏蔽电极（２）沿振动方向间隔分布在圆周上；在梳状屏蔽电极（２）上开有栅孔（４）；感应电极（３）放置在栅孔（４）下面。本发明的传感器工作时采用梳齿式驱动来实现屏蔽电极相对于感应电机的...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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