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电路基板的检查装置和电路基板的检查方法制造方法及图纸

技术编号:2632456 阅读:124 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
提供即使作为检查对象的被检查电路基板具有微细间距的微小电极也能进行可靠性高的电路基板的电检查的电路基板的检查装置,在利用一对第1检查夹具和第2检查夹具在两检查夹具之间夹住作为检查对象的被检查电路基板的两面并进行加压以进行电检查的电路基板的检查装置中,使用了导电性粒子在厚度方向上排列的同时在面方向上均匀地分散了的各向异性导电性片作为在间距变换用基板的被检查电路基板一侧配置的第1各向异性导电性片。此外,由一对与被检查电路基板的各被检查电极电连接的电流用端子电极和电压用端子电极构成间距变换用基板的连接电极,在连接器基板上配置了分别与间距变换用基板的电流用端子电极和电压用端子电极电连接的电流用销钉侧电极和电压用销钉侧电极。此外,在中继销钉单元中的第1绝缘板与第2绝缘板之间配置中间保持板,在其间在来自表面与背面的接触支撑位置互不相同的位置上配置了支撑销钉。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及通过用上侧检查夹具和下侧检查夹具从两面夹住作为进行电检查的检查对象的电路基板(以下称为「被检查电路基板」)并进行加压成为将在被检查电路基板的两面上形成了的电极与测试器电连接的状态以检查被检查电路基板的电特性的。
技术介绍
在安装集成电路等之前,为了确认电路基板的布线图案具有规定的性能,检查用于安装集成电路等的印刷电路基板的电特性。在该电检查中,例如在具备电路基板的运送机构的检查用测试器中装入检查头,通过更换检查头部分,进行了不同的电路基板的检查。例如,如在专利文献1(特开平6-94768号公报)中公开了的那样,提出了使用在基板上嵌入与被检查电路基板的被检查电极接触以进行电导通的金属的检查销钉的结构的检查夹具的方法。此外,如在专利文献2(特开平5-159821号公报)中公开了的那样,已知使用组合了具有导电销钉的检查头、被称为オフグリット适配器的间距变换用的电路基板和各向异性导电性片的检查夹具的方法。但是,在如专利文献1那样使用使金属检查销钉直接与被检查电路基板的被检查电极接触的检查夹具的方法中,由于与由金属构成的导电销钉的接触而存在被检查电路基板的电极受到损伤的可能性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电路基板的检查装置,利用一对第1检查夹具和第2检查夹具在两检查夹具之间夹住作为检查对象的被检查电路基板的两面并进行加压以进行电检查,其特征在于:上述第1检查夹具和第2检查夹具分别具备电路基板侧连接器、中继销钉单元和测试器侧连接器,上述电路基板侧连接器具备:间距变换用基板,在基板的一个面与另一个面之间变换电极间距;第1各向异性导电性片,配置在上述间距变换用基板的被检查电路基板一侧;以及第2各向异性导电性片,配置在上述间距变换用基板的与被检查电路基板相反的一侧,上述中继销钉单元具备:多个导电销钉,以规定的间距配置;以及一对分离的第1绝缘板和第2绝缘板,支撑上述导电销钉,使其可以在轴方向上移动,...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:木村洁下田杉郎铃木聪
申请(专利权)人:JSR株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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