本发明专利技术的ＴＣＰ处理装置能够由推动器单元（３）将在带上形成有多个ＴＣＰ的载带（５）推压至与探针卡（８）并使ＴＣＰ的外部端子与探针（８１）连接，由此顺次试验多个ＴＣＰ；其中，在载带（５）的输送路径上，在推动器单元（３）的前段侧以及／或者后段侧设有对载带（５）进行引导的高度限制引导件（４），该高度限制引导件（４）能够在载带（５）的平面方向位移地以浮动状态支承在ＴＣＰ处理机（２）的本体上。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于试验作为一种IC器件的TCP(Tape CarrierPackage)或COF(Chip On Film)(以下，将由TCP、COF、其它的TAB(Tape Automated Bonding)安装技术制造的器件统称为“TCP”)的TCP处理装置。
技术介绍
在IC器件等电子元件的制造过程中，需要用于试验最终制造的IC器件或在中间阶段的器件等的性能或功能的电子元件试验装置，在TCP的场合，使用TCP用的试验装置。TCP用的试验装置一般由测试器本体、测试头、TCP处理装置(以下有称为“TCP处理机”的场合)构成。该TCP处理机具有这样的功能，即，输送在带(也含有薄膜的概念，以下相同)上形成多个TCP的载带，将载带推压在与测试头电气连接的探针卡的探针上，使TCP的外部端子与探针接触，从而顺次对多个TCP进行试验。像这样的TCP处理机具有可以在支承载带的同时将其按压到探针上的推动器(单元)。在TCP试验时，该推动器支承载带并将其向下方(Z轴方向)移动，使载带上的TCP与探针卡的探针接触。在TCP处理机中的所述推动器的前段侧以及后段侧，通常，设有限制载带高度的引导件。但是，在现有的TCP处理机中，因为这些引导件在TCP处理机上固定地设置，所以，如果载带随着推动器的移动在其平面方向、特别是在与载带的输送方向(X轴方向)正交的方向(Y轴方向)或绕垂直轴的旋转方向(θ方向)发生偏移的话，则有这样的情况，即，对由引导件支承的载带施加应力，会损伤载带上的TCP(特别是导线或者测试垫)或载带自身(特别是链轮的齿进入的孔部或者其周边部)。这样的问题，特别是在为了补偿被试验TCP的位置偏移而使推动器在平面方向上移动时易于产生。
技术实现思路
本专利技术是鉴于像这样的实际情况而制成的，目的是提供一种即使在载带随推动器的移动等发生偏移的场合也可以缓和施加于载带的应力的TCP处理装置。为达成上述目的，本专利技术提供一种TCP处理装置，其能够通过推动器将在带上形成多个TCP的载带推压到与测试头电气连接的接触部，使TCP的外部端子与所述接触部连接，从而顺次地试验多个TCP，其特征在于，在载带的输送路径上，在所述推动器的前段侧以及/或者后段侧设有引导载带的引导件，所述引导件制成至少可在载带的平面方向位移(专利技术1)。而且，在本说明书的“推动器”中，也包括有将载带推压向接触部的推动器本体、或在该推动器本体的附近支承/输送载带的链轮、还有包括这些推动器本体以及链轮而构成的推动器单元的任意一个概念。根据所述专利技术(专利技术1)，即使在随着推动器的移动等载带偏移的场合，由引导载带的引导件在载带的平面方向位移，从而可以缓和施加于载带的应力。在所述专利技术(专利技术1)中优选的是，所述引导件可以在载带的平面方向滑动位移以及旋转位移地设置(专利技术2)。由于引导件这样位移，即使在载带随着推动器的移动等在与载带输送方向(X轴方向)正交的方向(Y轴方向)或绕垂直轴的旋转方向(θ方向)偏移的场合，也可以缓和施加于载带的应力。在所述专利技术(专利技术1、2)中优选的是，所述引导件经由弹性体设置成浮动状态(专利技术3)。引导件通过以这样的构成设置，至少可以在载带的平面方向自由位移。在所述专利技术(专利技术1至3)中，所述引导件也可设置在规定的高度位置，限制载带的高度位置(专利技术4)。根据所述专利技术(专利技术4)，可以限制载带中通过推动器上下移动部分以外的部分的高度，正常地保持载带和其他部件(例如照相机、打孔机)的位置关系。在所述专利技术(专利技术4)中优选的是，所述引导件被载置在旋转支承部件(例如球形脚轮等)上(专利技术5)。由此，引导件可在载带的平面方向自由地位移，而且可顺畅地位移。在所述专利技术(专利技术1至5中)中优选的是，所述推动器构成为能够保持载带，使该载带在其平面方向移动以及/或者绕其垂直轴旋转移动，所述引导件对应于随着所述推动器的移动而动作的载带，缓和施加于所述载带的应力地位移(专利技术6)。附图说明图1为示出采用本专利技术的一实施方式的TCP处理机的TCP试验装置的正视图。图2为该实施方式的TCP处理机中的高度限制引导件的正视截面图。图3为该实施方式的TCP处理机中的高度限制引导件的侧视截面图。图4为该实施方式的TCP处理机中的高度限制引导件的底部的俯视图。图5为该实施方式的TCP处理机中的高度限制引导件的俯视图。具体实施例方式以下，基于附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。在图1中示出了采用本专利技术的一实施方式的TCP处理机的TCP试验装置。TCP试验装置1由未图示的测试器本体、与测试器本体电气连接的测试头10、和在测试头10的上侧设置的TCP处理机2构成。TCP处理机2顺次试验在载带5上形成的多个TCP，在本实施方式中，为了简化说明，设成为每次试验一个TCP。但是，本专利技术并不限定于此，也可同时试验沿直列方向以及/或者并列方向排列在载带5上的多个TCP。TCP处理机2具有放线轴21和卷线轴22，在放线轴21卷绕有试验前的载带5。载带5从放线轴21被放出，试验后被卷绕在卷线轴22上。在放线轴21和卷线轴22之间设有三个间隔辊23a、23b、23c，这些间隔辊将从载带5剥离的保护带51从放线轴21转接至卷线轴22。各间隔辊23a、23b、23c分别上下可动地设置着，从而可以调整保护带51的张力。在放线轴21的下侧，设有带引导件24a、放线限制辊25a、输入侧副链轮25b以及输入侧引导辊25c，从放线轴21放出的载带5由带引导件24a引导，同时，经由放线限制辊25a、输入侧副链轮25b以及输入侧引导辊25c输送至推动器单元3。另外，在卷线轴22的下侧，设有带引导件24b、卷线限制辊25f、输出侧副链轮25e以及输出侧引导辊25d，进行试验后的载带5经由输出侧引导辊25d、输出侧副链轮25e以及卷线限制辊25f，由带引导件24b引导，同时，被卷绕在卷线轴22上。在输入侧引导辊25c和输出侧引导辊25d之间设有推动器单元3，在推动器单元3的前段侧(图1中左侧)设有第一照相机6a，在推动器单元3的下侧(后述的探针卡台7的内侧)设有第二照相机6b，在推动器单元3的后段侧(图1中右侧)设有第三照相机6c。另外，在推动器单元3和第三照相机6c之间设有标记打孔机(マ一クパンチ)26a以及等外品打孔机(リジエクトパンチ)26b。标记打孔机26a是基于试验的结果在该TCP上的规定位置开设一个或多个孔的设备，等外品打孔机26b是打穿被判断为试验结果不合格品的TCP的设备。各照相机6a、6b、6c连接于未图示的图像处理装置，第一照相机6a以及第三照相机6c是用于判断载带5上的TCP的有无或者用于判断由标记打孔机26a形成的孔的位置或数量的设备，第二照相机6b是用于获取载带5上的TCP和探针的位置偏移信息的设备。本实施方式中的第二照相机6b制成可以获取视野内的多个对象的位置偏移信息。第二照相机6b装载在照相机台61上，能够通过照相机台61所具有的致动器在平面视的纵横方向(X轴-Y轴方向)以及上下方向(Z轴方向)移动。在TCP处理机2的本体部，经由托架361安装有可使滚珠丝杠32旋转的伺服电机31，同时，经由两根Z轴方向的直动引导件37安装有与滚珠丝杠32螺纹接合的推动器本体部33。该推动器本体部33，通过使伺服电机31驱动，从本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种ＴＣＰ处理装置，能够由推动器将在带上形成有多个ＴＣＰ的载带推压至与测试头电气连接的接触部，使ＴＣＰ的外部端子与所述接触部连接，从而顺次试验多个ＴＣＰ，其特征在于，在载带的输送路径上，在所述推动器的前段侧以及／或者后段侧设有对载带进行引导的引导件，所述引导件能够至少在载带的平面方向位移。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：村野寿，清水洁，金子修一，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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