一种适用于红外测温仪的单晶炉观察窗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种适用于红外测温仪的单晶炉观察窗装置，包括石英套筒、过渡玻璃、观察窗玻璃，所述石英套筒设置于单晶炉上；所述过渡玻璃设置于所述石英套筒远离所述单晶炉的一端上；所述观察窗玻璃设置于所述石英套筒上，且位于所述单晶炉与所述过渡玻璃之间。本实用新型专利技术涉及的适用于红外测温仪的单晶炉观察窗装置，通过使用红外测温仪来检测单晶炉内的温度，测量结果更加快速和稳定，使单晶炉内的温度稳温更快从而减少稳温工时，提高了理论产能。采用红外装置，即使是在观察窗内有异物遮挡或者拉制大尺寸单晶时，也能正常采集温度，不影响生产进度；将镀金玻璃替换成带有测温孔的石英玻璃，降低了人工和生产成本，便于维护，提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于红外测温仪的单晶炉观察窗装置
本技术属于直拉半导体硅单晶领域，尤其是涉及一种适用于红外测温仪的单晶炉观察窗装置。
技术介绍
测量单晶炉的温度是通过测温仪采集单晶炉内的亮度，来显示单晶炉内的温度。单晶炉内的亮度是通过单晶炉上的观察窗来获得的，目前单晶炉观察窗用的玻璃都是高纯石英玻璃。当观察窗内若有碳毡或有其他杂质，测温仪将失去测温效果，成为摆设。该获取单晶炉温度的方式反应速度慢，延长了测量用时，影响生产进度。并且该方式只能用于测量直径较细的单晶，而大尺寸的单晶会导致热场增大，所测区域变小，使用该方式测量大尺寸单晶的温度不够准确。由于单晶炉内发出的可见光太过于强烈，肉眼与视觉系统无法直接观看和测量，这时就需要在石英玻璃上面再安装一块镀金玻璃来阻挡炉内的部分强光。镀金玻璃的造价昂贵，使用寿命较短。由于直拉法技术的提高，以及大尺寸热场工艺的推广，加长了单晶炉运行时间，而高强度的使用也会使镀金玻璃的使用寿命明显下降，提高了镀金玻璃的更换频率，增加了人工和生产成本，降低了生产效率。在单晶炉工作过程中，石英玻璃和镀金玻璃之间的温度高本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于红外测温仪的单晶炉观察窗装置，其特征在于：包括：/n石英套筒(1)，所述石英套筒(1)设置于单晶炉上；/n过渡玻璃(2)，所述过渡玻璃(2)设置于所述石英套筒(1)远离所述单晶炉的一端上；/n观察窗玻璃(3)，所述观察窗玻璃(3)设置于所述石英套筒(1)上，且位于所述单晶炉与所述过渡玻璃(2)之间；/n所述过渡玻璃(2)上设置有用于红外线通过的若干个测温孔(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于红外测温仪的单晶炉观察窗装置，其特征在于：包括：
石英套筒(1)，所述石英套筒(1)设置于单晶炉上；
过渡玻璃(2)，所述过渡玻璃(2)设置于所述石英套筒(1)远离所述单晶炉的一端上；
观察窗玻璃(3)，所述观察窗玻璃(3)设置于所述石英套筒(1)上，且位于所述单晶炉与所述过渡玻璃(2)之间；
所述过渡玻璃(2)上设置有用于红外线通过的若干个测温孔(5)。


2.根据权利要求1所述的一种适用于红外测温仪的单晶炉观察窗装置，其特征在于：
所述若干个测温孔(...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋瑞强，张文霞，郭志荣，钟旭，李晓东，康学兵，赵志远，王胜利，韩凯，
申请(专利权)人：内蒙古中环光伏材料有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古;15