一种断线测量方法、设备及存储介质技术

本公开提供一种断线测量方法、设备及存储介质，能够解决现有测量方法无法准确判断是否断线的问题。具体技术方案为：对获取的单晶生长图像的当前帧与前一帧进行处理，得到所述图像当前帧中运动像素的数量；在单位时间内，统计得到所有所述图像的帧中运动像素的数量和单晶生长时间的信息；根据所述信息确定所述单晶是否断线。用于判断晶体等径生长过程是否断线。

A measurement method, equipment and storage medium for broken wires

【技术实现步骤摘要】
一种断线测量方法、设备及存储介质
本公开涉及晶体硅制造领域，尤其涉及一种断线测量方法、设备及存储介质。
技术介绍
直拉法是晶体硅制备的常见方法之一，其制备过程包括：在晶体炉中，使籽晶浸入坩埚中硅熔体，转动籽晶及坩埚的同时提拉籽晶，然后在籽晶下端依次进行引晶、放肩、转肩、等径及收尾等步骤，制备出晶体硅棒。晶体硅棒在轴向方向具有特征明显的晶线，在等径生长过程中，需要关注该晶线是否一直存在，在晶线断线后拉制的晶棒为多晶硅棒，不符合产品要求。通常，晶棒与硅熔体之间固液界面处会有一圈很亮的光圈，光圈上有晶线特征，在等径生长过程，通过观察光圈上的晶线特征是否存在，来判断是否断线。若采用人工观察晶线，存在劳动强度大、人员经验不足等问题。现有的一种自动检测等径晶线是否断线的方法，采用相机对硅棒进行拍摄，然后分析测量成像图进行判断。分析测量步骤主要包括：在成像图上确定晶线特征像素值；设置扫描起始点、终点，扫描成像图；扫描到晶线特征像素时，记录像素点D及与像素点D临近像素点C位置，并计算像素点C到像素点D的晶线平面高度x；若x等于0.5mm，表明晶线未断线本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种断线测量方法，其特征在于，包括：/n对获取的单晶生长图像的当前帧与图像的前一帧进行处理，得到所述图像当前帧中运动像素的数量；/n在单位时间内，统计得到所有所述图像的帧中运动像素的数量和单晶生长时间的信息；/n根据所述信息确定所述单晶是否断线。/n

【技术特征摘要】
1.一种断线测量方法，其特征在于，包括：
对获取的单晶生长图像的当前帧与图像的前一帧进行处理，得到所述图像当前帧中运动像素的数量；
在单位时间内，统计得到所有所述图像的帧中运动像素的数量和单晶生长时间的信息；
根据所述信息确定所述单晶是否断线。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对每个所述图像帧进行处理，得到每个所述图像帧中运动像素的数量包括：
选取图像测量区域；
对所述图像测量区域内的每个像素进行数据处理，得到每个像素的速度幅值；
当像素的速度幅值大于预设阈值时，将像素确定为运动像素；
统计所述图像测量区域内的运动像素的数量。


3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述选取图像测量区域包括：
根据光圈的位置在每个所述图像帧上选取图像测量区域。


4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述选取图像测量区域包括：
根据灰度值在每个所述图像帧上选取图像测量区域，最大所述灰度值为200。


5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述对所述图像测量区域内的每个像素进行数据处理，得到每个像素的速度幅值包括：
获取图像测量区域内第i个像素在第一方向的速度和第二方向的速度；
根据所述第一方向的速度、第二方向的速度及第一公式，得到所述图像测量区域内第i个像素的速度幅值；所述第一公式包括：



其中，i＝1，2，3，...，n；mi表示图像测量区域内第i个像素的速度幅值，θi表示第一方向和第二方向之间的夹角，f(θi)表示与θi相关的函数关系式，ui表示第一方向的速度，vi表示第二方向的速度。


6.根据权利要求5所述的方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭力，周锐，李侨，徐战军，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61