一种便于打开的双压真空门制造技术

本实用新型专利技术涉及一种便于打开的双压真空门，包括法兰，法兰两端设置有第一固定件和第二固定件，法兰上设置有方形口，方形口上下两端的四周开设有凹槽；第一固定件上通过第一铰链销活动连接有门铰链；第一固定件上设有第一手轮柱，所述第一铰链销末端通过第一挡圈固定；第一手轮柱上活动设置有第一手轮；门铰链上固定有真空门；第二固定件上通过第二铰链销固定连接有第二手轮柱，所述第二手轮柱上安装有第二手轮。本实用新型专利技术采用法兰上下端面均卡设密封圈，以此保证方形口的密封性；采用门铰链进行一端活动连接，可以在真空门开启时，斜置于法兰上，便于开启关闭；采用手轮固定，能够满足真空门打开便捷的工序，减少人工劳动力。

【技术实现步骤摘要】
一种便于打开的双压真空门
本技术属于ALD设备
，具体涉及一种便于打开的双压真空门。
技术介绍
原子层沉积(ALD)由于其特定的自限制反应机理，沉积温度要求较低，所制备薄膜的厚度可以精确控制，台阶覆盖率优秀。因此原子层沉积技术在制备各种薄膜有着良好的应用前景。现有技术中，腔体的真空门一般采用焊接技术进行固定连接，焊接点暴露在空气中，会被氧化生锈，造成打开不方便的现象；在使用的过程中，由于螺丝固定，会导致密封效果不好，由于螺丝固定会存在速度缓慢的情况，导致空气流入，达不到很好的密封效果。
技术实现思路
本技术旨在解决上述缺陷，提供了一种便于打开的双压真空门。为了克服
技术介绍
中存在的缺陷，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种便于打开的双压真空门，包括法兰，所述法兰两端设置有第一固定件和第二固定件，所述第一固定件上开设有对称的通孔，所述法兰上设置有方形口，所述方形口上下两端的四周开设有凹槽，所述凹槽内卡设有密封圈；所述第一固定件上通过第一铰链销活动连接有门铰链；所述第一固定件中间位置设置有第一手轮柱，所述第一手轮柱凸出门铰链设置，所述第一铰链销末端通过第一挡圈固定；所述第一手轮柱上活动设置有第一手轮，用于活动开启端门；所述门铰链上固定有真空门；所述第二固定件上通过第二铰链销固定连接有第二手轮柱，所述第二铰链销末端安装有第二挡圈固定，所述第二手轮柱上安装有第二手轮。在本技术的一个较佳实施例中，所述法兰底面上均匀开设有多个圆孔。在本技术的一个较佳实施例中，所述门铰链与第一固定件两端间均安装有铜垫片。在本技术的一个较佳实施例中，所述第一手轮柱凸出门铰链设置。在本技术的一个较佳实施例中，所述圆孔数量为6个。在本技术的一个较佳实施例中，所述第一挡圈和第二挡圈均为轴端挡圈。本技术的有益效果是：1、本技术采用法兰上下端面均卡设密封圈，以此保证方形口的密封性；2、本技术中采用门铰链进行一端活动连接，可以在真空门开启时，斜置于法兰上，便于开启关闭；3、本技术中采用手轮固定，能够满足真空门打开便捷的工序，减少人工劳动力；4、本技术中采用手轮与门铰链结合的设计，能够提高真空门关闭时的密封性。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的结构示意图；图2是本技术的结构示意图；图3是本技术的结构示意图。附图标记说明：法兰-1；方形口-1.1；凹槽-1.2；圆孔-1.3；密封圈-1.4；固定件-2；通孔-2.1；第一固定件-2.2；第二固定件-2.3；第一铰链销-3；门铰链-4；铜垫片-6；第一轴用挡圈-7；第一手轮-8；真空门-9；第二铰链销-10；第二手轮柱-11；第二轴用挡圈-12；第二手轮-13。具体实施方式下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。如图1-图3所示，一种便于打开的双压真空门，包括法兰1，所述法兰1两端设置有第一固定件2.2和第二固定件2.3，所述第一固定件2.2上开设有对称的通孔2.1，所述法兰1上设置有方形口1.1，所述方形口1.1上下两端的四周开设有凹槽1.2，所述法兰1底面上均匀开设有六个圆孔1.3，所述凹槽1.2内卡设有密封圈1.4；所述第一固定件2.2上通过第一铰链销3活动连接有门铰链4；所述第一固定件2.2中间位置设置有第一手轮柱5，所述第一手轮柱5凸出门铰链4设置，所述门铰链4与第一固定件2.2两端间均安装有铜垫片6，便于减少摩擦，损坏部件；所述第一铰链销3末端通过第一轴用挡圈7固定；所述第一手轮柱5上活动设置有第一手轮8，用于活动开启端门；所述门铰链4上固定有真空门9。所述第二固定件2.3上通过第二铰链销10固定连接有第二手轮柱11，所述第二铰链销10末端安装有第二轴用挡圈12固定，所述第二手轮柱11上安装有第二手轮13。在使用本技术时，通过连接件将法兰上的圆孔安装在设备开口处，在法兰凹槽内安装密封圈，将第一铰链销依次穿过门铰链、铜垫片、固定件和第一手轮柱，在第一铰链销末端固定上第一轴用挡圈，防止滑落，使其固定；旋转第二手轮，松开真空门一端，开启真空门。以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便于打开的双压真空门，包括法兰，其特征在于：所述法兰两端设置有第一固定件和第二固定件，所述第一固定件上开设有对称的通孔，所述法兰上设置有方形口，所述方形口上下两端的四周开设有凹槽，所述凹槽内卡设有密封圈；所述第一固定件上通过第一铰链销活动连接有门铰链；所述第一固定件中间位置设置有第一手轮柱，所述第一铰链销末端通过第一挡圈固定；所述第一手轮柱上活动设置有第一手轮；所述门铰链上固定有真空门；所述第二固定件上通过第二铰链销固定连接有第二手轮柱，所述第二铰链销末端安装有第二挡圈固定，所述第二手轮柱上安装有第二手轮。/n

【技术特征摘要】
1.一种便于打开的双压真空门，包括法兰，其特征在于：所述法兰两端设置有第一固定件和第二固定件，所述第一固定件上开设有对称的通孔，所述法兰上设置有方形口，所述方形口上下两端的四周开设有凹槽，所述凹槽内卡设有密封圈；所述第一固定件上通过第一铰链销活动连接有门铰链；所述第一固定件中间位置设置有第一手轮柱，所述第一铰链销末端通过第一挡圈固定；所述第一手轮柱上活动设置有第一手轮；所述门铰链上固定有真空门；所述第二固定件上通过第二铰链销固定连接有第二手轮柱，所述第二铰链销末端安装有第二挡圈固定，所述第二手轮柱上安装有第二手轮。


2.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：江苏迈纳德微纳技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32