一种立式高温化学气相沉积炉制造技术

本实用新型专利技术涉及化学气相沉积炉技术领域，具体涉及一种立式高温化学气相沉积炉，包括尾气冷却机构，尾气冷却机构包括冷却箱、箱盖、混合气体进气口、气体排出口、蛇形冷凝管。本实用新型专利技术的有益效果：通过惰性气体与尾气的混合，降低了尾气的温度，同时由冷凝管的吸热，进一步加速尾气的冷却，提高尾气冷却效率，另外设置水箱中的常温水，利用水的比热容高的特点，能够持续对冷却箱内的混合气体进行吸热，由于尾气中通常含有杂质，因此设置箱盖可拆卸连接在冷却箱上，使得在作业完毕后，快速打开箱盖，对冷却箱内部进行清理，提升工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种立式高温化学气相沉积炉
本技术涉及化学气相沉积炉
，具体涉及一种立式高温化学气相沉积炉。
技术介绍
碳基复合材料是一种具有特殊性能的复合材料，其主要制备方法是化学气相沉积工艺，该工艺是将碳纤维预制体放在高温化学气相沉积炉的工作区内，加热到900-1100℃，通入碳烃化合物如甲烷、丙烯等，碳烃化合物在高温下发生一系列裂解和聚合反应，形成一系列分子量大小不等，分子量分布范围很大的烃类产物体系等，这些产物中分子量大的部分附着在碳纤维预制体上，经脱氢反应后转变为沉积碳；其余部分则以气态的形式从化学气相沉积炉的工作区中排出，成为尾气。由于尾气温度一般较高，因此通常需要对尾气进行冷却处理，但是目前的尾气处理效率较低，使得需要较长周期才能完成尾气的冷却作业，降低了生产效率。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的问题，提供一种立式高温化学气相沉积炉，它可以实现至少一定程度上解决现有技术的问题。为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术是通过以下技术方案实现的：一种立式高温化学气相沉积炉，包括用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种立式高温化学气相沉积炉，其特征在于，包括用于对外部立式高温化学气相沉积炉尾气进行冷却处理的尾气冷却机构，所述尾气冷却机构包括一冷却箱(11)，所述冷却箱(11)顶部开口且设有将其内部封闭的箱盖(2)，所述冷却箱(11)外壁上设有与其内部连通的混合气体进气口(12)以及气体排出口(13)，所述混合气体进气口(12)连通外部立式高温化学气相沉积炉的尾气排出口以及外部惰性气体输送设备，外部惰性气体输送设备和外部立式高温化学气相沉积炉分别将惰性气体和尾气经由混合气体进气口(12)输送至冷却箱(11)内，通过惰性气体对尾气进行冷却，冷却后的混合气体经由所述气体排出口(13)排出至外部储气设备中，...

【技术特征摘要】
1.一种立式高温化学气相沉积炉，其特征在于，包括用于对外部立式高温化学气相沉积炉尾气进行冷却处理的尾气冷却机构，所述尾气冷却机构包括一冷却箱(11)，所述冷却箱(11)顶部开口且设有将其内部封闭的箱盖(2)，所述冷却箱(11)外壁上设有与其内部连通的混合气体进气口(12)以及气体排出口(13)，所述混合气体进气口(12)连通外部立式高温化学气相沉积炉的尾气排出口以及外部惰性气体输送设备，外部惰性气体输送设备和外部立式高温化学气相沉积炉分别将惰性气体和尾气经由混合气体进气口(12)输送至冷却箱(11)内，通过惰性气体对尾气进行冷却，冷却后的混合气体经由所述气体排出口(13)排出至外部储气设备中，所述冷却箱(11)内设有蛇形冷凝管(8)，所述蛇形冷凝管(8)连通外部水泵、水箱，外部水泵将外部水箱内的冷却水输送至蛇形冷凝管(8)内，通过冷却水在蛇形冷凝管(8)内的流通，吸收所述冷却箱(11)内的部分热量。


2.根据权利要求1所述的一种立式高温化学气相沉积炉，其特征在于，所述冷却箱(11)内设有一隔板(10)，所述隔板(10)将冷却箱(11)内隔有一个水箱(...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玲玲，王锴宁，刘荣荣，马赛美，鲍婷，付丽敏，
申请(专利权)人：郑州科佳电炉有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41