一种新式热解石墨气相沉积装置及工艺制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种新式热解石墨气相沉积装置及工艺，包括支撑机构、进气机构、罩壳和石墨电阻发热体。该新式热解石墨气相沉积装置及工艺，将碳素件摆放在支撑机构的载物托盘上，然后控制第二气缸带动支撑台面上升，从而使得载物托盘带动碳素件上升到工作时的位置；打开真空系统阀门，通过真空泵将罩壳内的气压抽真空,开始加热，控制石墨电阻发热体开始升温，恒温结束后进气管及石墨隔挡板下降到发热体二分之一位置处；此时由进气管供给碳氢气体原料，当热解石墨气象沉积10‑30分钟之后，控制电机开始工作，电机带动载物托盘以十分钟每转的速度；当气相沉积过程结束后，进气管及石墨隔挡板上升回到初始位置后，开始通过水冷排管降温。

【技术实现步骤摘要】
一种新式热解石墨气相沉积装置及工艺
本专利技术涉及一种热解石墨涂层
，具体是一种新式热解石墨气相沉积装置及工艺。
技术介绍
热解石墨是新型炭素材料，是高纯碳氢气体在一定的炉压下，在1800℃～2000℃的石墨基体上经化学气相沉积出的较高结晶取向的碳素材料涂层，它具有高密度、高纯度和热、电、磁、力学性能各向异性。在1800℃左右仍能维持10mmHg的真空度。现有的热解石墨图层通常采用气相沉积的方法进行生产，但是在生产的过程中容易出现沉积不均匀的情况，晶向杂乱，严重影响了热解石墨涂层的性能。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种新式热解石墨气相沉积装置及工艺，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种新式热解石墨气相沉积装置，包括支架，所述支架的顶面固定安装有罩壳，罩壳的上方设有供气机构，罩壳的下方设有支撑机构，罩壳的内侧设有石墨电阻发热体，罩壳的上部外壁固定连接有插入其内的石墨电极，石墨电极的一端与石墨电阻发热体固定连接，供气机构包括安装架、第一气缸、横本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新式热解石墨气相沉积装置，包括支架(1)，其特征在于：所述支架(1)的顶面固定安装有罩壳(2)，罩壳(2)的上方设有供气机构(3)，罩壳(2)的下方设有支撑机构(4)，罩壳(2)的内侧设有石墨电阻发热体(5)，罩壳(2)的上部外壁固定连接有插入其内的石墨电极(6)，石墨电极(6)的一端与石墨电阻发热体(5)固定连接，供气机构(3)包括安装架(7)、第一气缸(8)、横板(9)、进气管(10)、第一螺纹块(11)、第二螺纹块(12)、石墨隔挡板(13)和测温热电偶(14)，支撑机构(4)包括第二气缸(15)、支撑台面(16)、载物托盘(17)、排管底座(18)、水冷排管(19)和电机(22...

【技术特征摘要】
1.一种新式热解石墨气相沉积装置，包括支架(1)，其特征在于：所述支架(1)的顶面固定安装有罩壳(2)，罩壳(2)的上方设有供气机构(3)，罩壳(2)的下方设有支撑机构(4)，罩壳(2)的内侧设有石墨电阻发热体(5)，罩壳(2)的上部外壁固定连接有插入其内的石墨电极(6)，石墨电极(6)的一端与石墨电阻发热体(5)固定连接，供气机构(3)包括安装架(7)、第一气缸(8)、横板(9)、进气管(10)、第一螺纹块(11)、第二螺纹块(12)、石墨隔挡板(13)和测温热电偶(14)，支撑机构(4)包括第二气缸(15)、支撑台面(16)、载物托盘(17)、排管底座(18)、水冷排管(19)和电机(22)，支撑机构(4)的上方设有碳素件(20)，罩壳(2)的外壁固定安装有温度控制仪(21)。


2.根据权利要求1所述的一种新式热解石墨气相沉积装置，其特征在于：所述安装架(7)固定安装在罩壳(2)的顶面，第一气缸(8)对称固定安装在安装架(7)的顶部内侧，横板(9)与第一气缸(8)的伸缩端固定连接，进气管(10)和测温热电偶(14)同时贯穿横板(9)、罩壳(2)和石墨隔挡板(13)，进气管(10)圆周等距设在测温热电偶(14)的外侧，进气管(10)和测温热电偶(14)的顶部外壁与横板(9)固定连接，进气管(10)和测温热电偶(14)与罩壳(2)滑动连接，石墨隔挡板(13)滑动套设在进气管(10)和测温热电偶(14)的下部外侧，石墨隔挡板(13)设在罩壳(2)内，且石墨隔挡板(13)设在石墨电阻发热体(5)之间，石墨隔挡板(13)设在第一螺纹块(11)的上方，第一螺纹块(11)螺纹连接在进气管(10)的底部外壁，第二螺纹块(12)螺纹连接在进气管(10)的上部外壁上，第二螺纹块(12)设在横板(9)和罩壳(2)之间。


3.根据权利要求1所述的一种新式热解石墨气相沉积装置，其特征在于：所述第二气缸(15)对称固定安装在支架(1)的底部内侧，支撑台面(16)固定安装在第二气缸(15)的伸缩端上，载物托盘(17)转动连接在支撑台面(16)的顶面，电机(22)固定安装在支撑台面(16)的底面，电机(22)的输出轴穿过支撑台面(16)且通过联轴器与载物托盘(17)的底面固定连接，载物托盘(17)为工字装，排管底座(18)转动套设在载物托盘(17)的中部外侧，水冷排管(19)设在排管底座(18)内，载物托盘(17)设在罩壳(2)内，且载物托盘(17)的外壁与罩壳(2)的内壁滑动连接。


4.根据权利要求1所述的一种新式热解石墨气相沉积装置，其特征在于：所述罩壳(2)外设有门体，罩壳(2)的材料为石墨硬毡，石墨电阻发热体(5)、石墨电极(6)、进气管(10)、第一螺纹块(11)、第二螺纹块(12)、石墨隔挡板(13)和载物托盘(17)的材质均为三高石墨材质，支架(1)、安装架(7)、横板(9)、支撑台面(16)、排管底座(18)和水冷排管(19)均为不锈钢材质。


5.根据权利要求1所述的一种新式热解石墨气相沉积装置，其特征在于：所述测温热电偶(14)外壁为碳化硅陶瓷管，内部装配钨铼热电偶丝，石墨电阻发...

【专利技术属性】
技术研发人员：付善任，张红，夏倩倩，
申请(专利权)人：上海岚玥新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31