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本发明公开了一种新式热解石墨气相沉积装置及工艺，包括支撑机构、进气机构、罩壳和石墨电阻发热体。该新式热解石墨气相沉积装置及工艺，将碳素件摆放在支撑机构的载物托盘上，然后控制第二气缸带动支撑台面上升，从而使得载物托盘带动碳素件上升到工作时的位...
该专利属于上海岚玥新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海岚玥新材料科技有限公司授权不得商用。

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