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本实用新型涉及化学气相沉积炉技术领域，具体涉及一种立式高温化学气相沉积炉，包括尾气冷却机构，尾气冷却机构包括冷却箱、箱盖、混合气体进气口、气体排出口、蛇形冷凝管。本实用新型的有益效果：通过惰性气体与尾气的混合，降低了尾气的温度，同时由冷凝管...
该专利属于郑州科佳电炉有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州科佳电炉有限公司授权不得商用。

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