一种炉辊加工用辅助装置制造方法及图纸

技术编号:26316390 阅读:18 留言:0更新日期:2020-11-13 16:40
本实用新型专利技术公开了一种炉辊加工用辅助装置,包括驱动机构、夹持机构、驱动电机和底板,所述底板位于驱动机构的下方,所述底板共竖直对称分布有两组,且底板的底端面均安装有滑轮,所述底板的上端外壁上焊接支撑板,所述支撑板的上表面竖直对称分布有两组伸缩气缸,所述伸缩气缸带动驱动机构竖向升降,所述驱动机构至少包括升降台、侧板和丝杆,所述驱动电机固定安装在侧板的外部,所述侧板对称分布在升降台的上表面两端,且两组侧板之间位于升降台的上表面居中部还水平开设有移动槽,所述移动槽与丝杆平齐,所述丝杆水平设置于移动槽的上方。该炉辊加工用辅助装置,结构合理,提升炉辊的加工便捷高,可广泛推广。

【技术实现步骤摘要】
一种炉辊加工用辅助装置
本技术属于炉辊加工
,具体涉及一种炉辊加工用辅助装置。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底,退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电60%。在退火炉辊的外壁打磨清理翻新工作中,需要将炉辊抬到支撑设备上,费时费力,且当炉辊体积较大时,相应的重量也增加,人工抬起较为费劲,迫切需要一种辅助装置来对炉辊进行支撑。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种炉辊加工用辅助装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种炉辊加工用辅助装置,包括驱动机构、夹持机构、驱动电机和底板,所述底板位于驱动机构的下方,所述底板共竖直对称分布有两组,且底板的底端面均安装有滑轮,所述底板的上端外壁上焊接支撑板,所述支撑板的上表面竖直对称分布有两组伸缩气缸,所述伸缩气缸带动驱动机构竖向升降;所述驱动机构至少包括升降台、侧板和丝杆,所述驱动电机固定安装在侧板的外部,所述侧板对称分布在升降台的上表面两端,且两组侧板之间位于升降台的上表面居中部还水平开设有移动槽,所述移动槽与丝杆平齐,所述丝杆水平设置于移动槽的上方,所述丝杆的两端均转动连接侧板,所述升降台为倒置的U形结构,且底端外壁上还凸出焊接有连接块;所述升降台的内侧还安装有夹持机构,所述夹持机构共对称分布有两组,且相对运动,所述夹持机构至少包括竖板、滑板和夹持孔,所述夹持孔对称开设在两组竖板相对的面上,且夹持孔的孔径不一共开设有多组。优选的,所述竖板的上表面还一体构造有凸块,凸块穿过移动槽伸出至升降台的上表面,与滑板的底端面居中部焊接。优选的,所述滑板沿升降台的上表面横向滑动,且滑板的上表面居中部凸出一体构造有移动块,所述移动块与丝杆同轴向贯穿开设有螺纹孔。优选的,所述丝杆外杆壁上的螺纹以杆壁的中段为中心,呈相反设置,所述丝杆穿过螺纹孔与移动块螺纹连接。优选的,所述驱动电机与丝杆的一端固定连接。优选的,所述连接块对称分布,底端面与伸缩气缸的顶端面固定连接。本技术的技术效果和优点:该炉辊加工用辅助装置,通过竖板的设置可有效将炉辊夹紧进行加工,可通过调节夹持不同尺寸的炉辊,通过多组夹持孔的设置,还可以适用于不同直径的炉辊,实用性强,通过伸缩气缸带动升降台升起随后即可对轮辊外壁进行加工,操作便捷,省时省力,有效减少人力消耗,该炉辊加工用辅助装置,结构合理,提升炉辊的加工便捷高,可广泛推广。附图说明图1为本技术的结构示意图;图2为本技术的夹持机构结构示意图;图3为本技术的驱动机构结构示意图。图中:1驱动电机、2伸缩气缸、3连接块、4滑轮、5底板、6支撑板、7夹持机构、8驱动机构、9移动块、10滑板、11竖板、12夹持孔、13侧板、14丝杆、15移动槽、16升降台。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。本技术提供了如图1-3所示的一种炉辊加工用辅助装置,包括驱动机构8、夹持机构7、驱动电机1和底板5,所述底板5位于驱动机构8的下方,所述底板5共竖直对称分布有两组,且底板5的底端面均安装有滑轮4,所述底板5的上端外壁上焊接支撑板6,所述支撑板6的上表面竖直对称分布有两组伸缩气缸2,所述伸缩气缸2带动驱动机构8竖向升降;所述驱动机构8至少包括升降台16、侧板13和丝杆14,所述驱动电机1固定安装在侧板13的外部,所述侧板13对称分布在升降台16的上表面两端,且两组侧板13之间位于升降台16的上表面居中部还水平开设有移动槽15,所述移动槽15与丝杆14平齐,所述丝杆14水平设置于移动槽15的上方,所述丝杆14的两端均转动连接侧板13,所述升降台16为倒置的U形结构,且底端外壁上还凸出焊接有连接块3;所述升降台16的内侧还安装有夹持机构7,所述夹持机构7共对称分布有两组,且相对运动,所述夹持机构7至少包括竖板11、滑板10和夹持孔12,所述夹持孔12对称开设在两组竖板11相对的面上,且夹持孔12的孔径不一共开设有多组,通过竖板11的设置可有效将炉辊夹紧进行加工,可通过调节夹持不同尺寸的炉辊。具体的,所述竖板11的上表面还一体构造有凸块,凸块穿过移动槽15伸出至升降台16的上表面,与滑板10的底端面居中部焊接,凸块1到连接滑板10与竖板11的作用。具体的,所述滑板10沿升降台16的上表面横向滑动,且滑板10的上表面居中部凸出一体构造有移动块9,所述移动块9与丝杆14同轴向贯穿开设有螺纹孔,丝杆11与移动块9螺纹传动。具体的,所述丝杆14外杆壁上的螺纹以杆壁的中段为中心,呈相反设置,所述丝杆14穿过螺纹孔与移动块9螺纹连接。具体的,所述驱动电机1与丝杆14的一端固定连接,驱动电机1带动丝杆14转动。具体的,所述连接块3对称分布,底端面与伸缩气缸2的顶端面固定连接。具体的,该炉辊加工用辅助装置,在使用时,首先通过滑轮4将底板5移动至需要加工的炉辊两侧,通过伸缩气缸2的收缩带动升降台16下移,竖板11移动至炉辊的两侧,随后启动驱动电机1,驱动电机1带动丝杆14转动,丝杆14杆壁上的螺纹为相反设置,进而两组移动块9相对移动,带动两组竖板11相互靠近,将炉辊与相对口径的夹持孔12对齐,再通过伸缩气缸2的升起将炉辊上移,即可进行打磨加工,在需要对轮辊进行转动时,反向启动驱动电机1,丝杆14反向转动之后,两组移动块9相反移动,略微松开炉辊即可,转动炉辊之后,再次通过驱动电机1带动丝杆14正转,两组竖板11相互靠近通过夹持孔12将炉辊夹紧,操作便捷,对于轮辊的外壁加工完成后,通过伸缩气缸2的收缩将炉辊放置在地面上,松开竖板11即可,该炉辊加工用辅助装置,结构合理,提升炉辊的加工便捷高,可广泛推广。最后应说明的是:以上所述仅为本技术的优选实施例而已,并不用于限制本技术,尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种炉辊加工用辅助装置,包括驱动机构(8)、夹持机构(7)、驱动电机(1)和底板(5),其特征在于:所述底板(5)位于驱动机构(8)的下方,所述底板(5)共竖直对称分布有两组,且底板(5)的底端面均安装有滑轮(4),所述底板(5)的上端外壁上焊接支撑板(6),所述支撑板(6)的上表面竖直对称分布有两组伸缩气缸(2),所述伸缩气缸(2)带动驱动机构(8)竖向升降;/n所述驱动机构(8)至少包括升降台(16)、侧板(13)和丝杆(14),所述驱动电机(1)固定安装在侧板(13)的外部,所述侧板(13)对称分布在升降台(16)的上表面两端,且两组侧板(13)之间位于升降台(16)的上表面居中部还水平开设有移动槽(15),所述移动槽(15)与丝杆(14)平齐,所述丝杆(14)水平设置于移动槽(15)的上方,所述丝杆(14)的两端均转动连接侧板(13),所述升降台(16)为倒置的U形结构,且底端外壁上还凸出焊接有连接块(3);/n所述升降台(16)的内侧还安装有夹持机构(7),所述夹持机构(7)共对称分布有两组,且相对运动,所述夹持机构(7)至少包括竖板(11)、滑板(10)和夹持孔(12),所述夹持孔(12)对称开设在两组竖板(11)相对的面上,且夹持孔(12)的孔径不一共开设有多组。/n...

【技术特征摘要】
1.一种炉辊加工用辅助装置,包括驱动机构(8)、夹持机构(7)、驱动电机(1)和底板(5),其特征在于:所述底板(5)位于驱动机构(8)的下方,所述底板(5)共竖直对称分布有两组,且底板(5)的底端面均安装有滑轮(4),所述底板(5)的上端外壁上焊接支撑板(6),所述支撑板(6)的上表面竖直对称分布有两组伸缩气缸(2),所述伸缩气缸(2)带动驱动机构(8)竖向升降;
所述驱动机构(8)至少包括升降台(16)、侧板(13)和丝杆(14),所述驱动电机(1)固定安装在侧板(13)的外部,所述侧板(13)对称分布在升降台(16)的上表面两端,且两组侧板(13)之间位于升降台(16)的上表面居中部还水平开设有移动槽(15),所述移动槽(15)与丝杆(14)平齐,所述丝杆(14)水平设置于移动槽(15)的上方,所述丝杆(14)的两端均转动连接侧板(13),所述升降台(16)为倒置的U形结构,且底端外壁上还凸出焊接有连接块(3);
所述升降台(16)的内侧还安装有夹持机构(7),所述夹持机构(7)共对称分布有两组,且相对运动,所述夹持机构(7)至少包括竖板(11)、滑板(10)和夹持孔(12),所述夹持孔...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱学勤朱庆灵朱广华朱德勇
申请(专利权)人:江苏华洋新思路能源装备股份有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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