一种炉辊加工用辅助装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种炉辊加工用辅助装置，包括驱动机构、夹持机构、驱动电机和底板，所述底板位于驱动机构的下方，所述底板共竖直对称分布有两组，且底板的底端面均安装有滑轮，所述底板的上端外壁上焊接支撑板，所述支撑板的上表面竖直对称分布有两组伸缩气缸，所述伸缩气缸带动驱动机构竖向升降，所述驱动机构至少包括升降台、侧板和丝杆，所述驱动电机固定安装在侧板的外部，所述侧板对称分布在升降台的上表面两端，且两组侧板之间位于升降台的上表面居中部还水平开设有移动槽，所述移动槽与丝杆平齐，所述丝杆水平设置于移动槽的上方。该炉辊加工用辅助装置，结构合理，提升炉辊的加工便捷高，可广泛推广。

【技术实现步骤摘要】
一种炉辊加工用辅助装置
本技术属于炉辊加工
，具体涉及一种炉辊加工用辅助装置。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。在退火炉辊的外壁打磨清理翻新工作中，需要将炉辊抬到支撑设备上，费时费力，且当炉辊体积较大时，相应的重量也增加，人工抬起较为费劲，迫切需要一种辅助装置来对炉辊进行支撑。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种炉辊加工用辅助装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种炉辊加工用辅助装置，包括驱动机构、夹持机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种炉辊加工用辅助装置，包括驱动机构(8)、夹持机构(7)、驱动电机(1)和底板(5)，其特征在于：所述底板(5)位于驱动机构(8)的下方，所述底板(5)共竖直对称分布有两组，且底板(5)的底端面均安装有滑轮(4)，所述底板(5)的上端外壁上焊接支撑板(6)，所述支撑板(6)的上表面竖直对称分布有两组伸缩气缸(2)，所述伸缩气缸(2)带动驱动机构(8)竖向升降；/n所述驱动机构(8)至少包括升降台(16)、侧板(13)和丝杆(14)，所述驱动电机(1)固定安装在侧板(13)的外部，所述侧板(13)对称分布在升降台(16)的上表面两端，且两组侧板(13)之间位于升降台(16)的上表面居中部还...

【技术特征摘要】
1.一种炉辊加工用辅助装置，包括驱动机构(8)、夹持机构(7)、驱动电机(1)和底板(5)，其特征在于：所述底板(5)位于驱动机构(8)的下方，所述底板(5)共竖直对称分布有两组，且底板(5)的底端面均安装有滑轮(4)，所述底板(5)的上端外壁上焊接支撑板(6)，所述支撑板(6)的上表面竖直对称分布有两组伸缩气缸(2)，所述伸缩气缸(2)带动驱动机构(8)竖向升降；
所述驱动机构(8)至少包括升降台(16)、侧板(13)和丝杆(14)，所述驱动电机(1)固定安装在侧板(13)的外部，所述侧板(13)对称分布在升降台(16)的上表面两端，且两组侧板(13)之间位于升降台(16)的上表面居中部还水平开设有移动槽(15)，所述移动槽(15)与丝杆(14)平齐，所述丝杆(14)水平设置于移动槽(15)的上方，所述丝杆(14)的两端均转动连接侧板(13)，所述升降台(16)为倒置的U形结构，且底端外壁上还凸出焊接有连接块(3)；
所述升降台(16)的内侧还安装有夹持机构(7)，所述夹持机构(7)共对称分布有两组，且相对运动，所述夹持机构(7)至少包括竖板(11)、滑板(10)和夹持孔(12)，所述夹持孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱学勤，朱庆灵，朱广华，朱德勇，
申请(专利权)人：江苏华洋新思路能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32