【技术实现步骤摘要】
一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具
本技术涉及半导体制造
,具体为一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具。
技术介绍
现有的半导体制造用刀片夹具在使用的时候,由于半导体本身的性质再切的时候会出现半导体切割边出现碎变,使半导体不能使用造成半导体的浪费,并且现在的刀片固定比较差,在使用的时候会出现刀具转动不稳的问题。专利号CN201721406040.1,公开了一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具,包括刀具固定螺栓,所述刀具固定螺栓的一侧设置有刀具固定螺母,所述刀具固定螺栓的一端设置有固定板,所述刀具固定螺母的一侧设置有夹块,所述夹块的一侧设置有刀具,所述固定板的一侧设置有转轴,所述转轴的一端设置有转动装置,所述转动装置的一端设置有刀具转动轴,所述刀具转动轴的一端设置有支架;通过设计的弹簧和缓冲块在使用夹具和刀片对半导体进行切割的时候,可以减少刀片与半导体受到的冲击力,防止半导体和刀片受到力过大导致半导体和刀片出现损坏,并且通过夹块可以使刀片在夹具上固定的更稳,防止出现刀片在夹具上出现打滑的现象。目前 ...
【技术保护点】
1.一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具,包括电机(1),其特征在于:所述电机(1)顶部设置有夹持机构;/n所述夹持机构包括电机轴(2)、第一固定板(3)、刀片(5)、第二固定板(6)、第一固定螺栓(4)、第二固定螺栓(7)、螺纹孔(12)、阻尼块(13)、斜支撑杆(8)和第三固定螺栓(10);所述电机(1)顶部转动连接有电机轴(2),所述电机轴(2)顶部固定连接有第一固定板(3),所述第一固定板(3)顶部贴合有刀片(5),且刀片(5)内部中间左右两侧均开设有螺纹孔(12),所述螺纹孔(12)内部中间粘合有阻尼块(13),所述刀片(5)顶部贴合有第二固定板(6),所述第一 ...
【技术特征摘要】
1.一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具,包括电机(1),其特征在于:所述电机(1)顶部设置有夹持机构;
所述夹持机构包括电机轴(2)、第一固定板(3)、刀片(5)、第二固定板(6)、第一固定螺栓(4)、第二固定螺栓(7)、螺纹孔(12)、阻尼块(13)、斜支撑杆(8)和第三固定螺栓(10);所述电机(1)顶部转动连接有电机轴(2),所述电机轴(2)顶部固定连接有第一固定板(3),所述第一固定板(3)顶部贴合有刀片(5),且刀片(5)内部中间左右两侧均开设有螺纹孔(12),所述螺纹孔(12)内部中间粘合有阻尼块(13),所述刀片(5)顶部贴合有第二固定板(6),所述第一固定板(3)底部左右两侧和第二固定板(6)顶部左右两侧分别贴合有第一固定螺栓(4)和第二固定...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐宏进,
申请(专利权)人:扬州国润半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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