温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种便于维护保养型半导体制造用刀片夹具，包括电机，所述电机顶部设置有夹持机构；所述夹持机构包括电机轴、第一固定板、刀片、第二固定板、第一固定螺栓、第二固定螺栓、螺纹孔、阻尼块、斜支撑杆和第三固定螺栓；所述电机顶部转动连接有电...
该专利属于扬州国润半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州国润半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。