抛光机漫流过滤盘制造技术

本实用新型专利技术涉及机械技术领域。抛光机漫流过滤盘，包括一中空外壳、一进液管以及排液管；还包括一用于上下分隔中空外壳内腔的漫流盘，漫流盘的外边缘开设有出液孔，漫流盘上沿着径向从内至外依次设置有至少两个外凸部，外凸部为首尾相连的封闭状结构；还包括至少三个纵向排布的挡流管，挡流管首尾相连，挡流管固定在中空外壳的内壁；挡流管设置在所述中空外壳内位于所述漫流盘下方的区域。本专利通过在漫流盘减缓抛光液流速，途中大颗粒杂质在重力的作用下，被外凸部进行阻挡，进而沉降在漫流盘上，抛光液经漫流盘外边缘的出液孔流出；通过挡流管，实现对抛光液的第二级激荡汇流，使抛光液中抛光颗粒SiO

【技术实现步骤摘要】
抛光机漫流过滤盘
本技术涉及机械
，具体涉及抛光机抛光液循环用过滤装置。
技术介绍
抛光是硅片生产加工过程中必不可少的工序。抛光液因为使用量大，一般会采用抛光液循环系统对抛光液进行回收使用。目前，抛光液循环系统往往采用尼龙过滤网进行过滤，来实现抛光颗粒的回收。当过滤网的目数大到1000目时，过滤网很容易阻塞。当过滤网的目数小于1000目时，对13μm以下的颗粒不能过滤，而需要回收的抛光颗粒为10nm，这种小于1000目的过滤网，过滤精度不佳，未过滤掉的大颗粒会划伤硅片。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本技术提供抛光机漫流过滤盘，以解决上述至少一个技术问题。本技术的技术方案是：抛光机漫流过滤盘，其特征在于，包括一中空外壳、一用于导入抛光液的进液管以及用于导出抛光液的排液管，所述进液管安装在所述中空外壳的顶部，所述进液管伸入所述中空外壳内，所述排液管安装在所述中空外壳的底部，且与所述中空外壳的内腔导通；还包括一用于上下分隔中空外壳内腔的漫流盘，所述漫流盘固定在中空外壳内，且设置在所述进液本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.抛光机漫流过滤盘，其特征在于，包括一中空外壳、一用于导入抛光液的进液管以及用于导出抛光液的排液管，所述进液管安装在所述中空外壳的顶部，所述进液管伸入所述中空外壳内，所述排液管安装在所述中空外壳的底部，且与所述中空外壳的内腔导通；/n还包括一用于上下分隔中空外壳内腔的漫流盘，所述漫流盘固定在中空外壳内，且设置在所述进液管与所述排液管之间，所述漫流盘的外边缘开设有出液孔，所述漫流盘上沿着径向从内至外依次设置有至少两个用于阻挡抛光液中的大颗粒的外凸部，所述外凸部为首尾相连的封闭状结构；/n还包括至少三个纵向排布且用于搅拌出液孔导出的抛光液的挡流管，所述挡流管首尾相连，所述挡流管固定在所述中空外壳...

【技术特征摘要】
1.抛光机漫流过滤盘，其特征在于，包括一中空外壳、一用于导入抛光液的进液管以及用于导出抛光液的排液管，所述进液管安装在所述中空外壳的顶部，所述进液管伸入所述中空外壳内，所述排液管安装在所述中空外壳的底部，且与所述中空外壳的内腔导通；
还包括一用于上下分隔中空外壳内腔的漫流盘，所述漫流盘固定在中空外壳内，且设置在所述进液管与所述排液管之间，所述漫流盘的外边缘开设有出液孔，所述漫流盘上沿着径向从内至外依次设置有至少两个用于阻挡抛光液中的大颗粒的外凸部，所述外凸部为首尾相连的封闭状结构；
还包括至少三个纵向排布且用于搅拌出液孔导出的抛光液的挡流管，所述挡流管首尾相连，所述挡流管固定在所述中空外壳的内壁；
所述中空外壳位于所述漫流盘下方区域的内壁的横截面面积从上至下递减；
所述挡流管设置在所述中空外壳内位于所述漫流盘下方的区域。


2.根据权利要求1所述的抛光机漫流过滤盘，其特征在于：所述中空外壳位于所述漫流盘下方区域的内壁呈上宽下窄的圆锥状；
所述挡流管呈圆环状。


3.根据权利要求2所述的抛光机漫流过滤盘，其特征在于：所述挡流管与所述中空外壳的内壁围成依次...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁保军，贺贤汉，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31