一种MEMS麦克风及其制备方法、电子装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种MEMS麦克风及其制备方法、电子装置。所述方法包括：形成振膜材料层；对所述振膜材料层进行第一次离子注入，以在所述振膜材料层的底部形成第一注入区域；对所述振膜材料层进行第二次离子注入，以在所述振膜材料层中所述第一注入区域的上方形成第二注入区域；执行退火步骤，以形成振膜层。本发明专利技术中对所述振膜材料层分别进行注入能量不同的离子并执行退火步骤，通过多层离子注入在振膜材料层内，再通过振膜材料层不同区域的离子浓度的组合来调节振膜材料层的应力，以达到理想的应力效果。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS麦克风及其制备方法、电子装置
本专利技术涉及半导体
，具体而言涉及一种MEMS麦克风及其制备方法、电子装置。
技术介绍
随着半导体技术的不断发展，在传感器(sensor)类产品的市场上，智能手机、集成CMOS和微机电系统(MEMS)器件日益成为最主流、最先进的技术，并且随着技术的更新，并朝尺寸小、性能高和功耗低的方向发展。其中，MEMS传感器广泛应用于汽车电子：如TPMS、发动机机油压力传感器、汽车刹车系统空气压力传感器、汽车发动机进气歧管压力传感器(TMAP)、柴油机共轨压力传感器；消费电子：如胎压计、血压计、橱用秤、健康秤，洗衣机、洗碗机、电冰箱、微波炉、烤箱、吸尘器用压力传感器，空调压力传感器，洗衣机、饮水机、洗碗机、太阳能热水器用液位控制压力传感器；工业电子：如数字压力表、数字流量表、工业配料称重等，电子音像领域：麦克风等设备。在MEMS麦克风中，其工作原理是由振膜(Membrane)的运动产生电容的变化，利用电容变化量进行运算和工作的，现有常用的MEMS麦克风包括振膜、背板及位于背板下方的背腔组成。通本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS麦克风的制备方法，其特征在于，所述方法包括：/n形成振膜材料层；/n对所述振膜材料层进行第一次离子注入，以在所述振膜材料层的底部形成第一注入区域；/n对所述振膜材料层进行第二次离子注入，以在所述振膜材料层中所述第一注入区域的上方形成第二注入区域；/n执行退火步骤，以形成振膜层。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风的制备方法，其特征在于，所述方法包括：
形成振膜材料层；
对所述振膜材料层进行第一次离子注入，以在所述振膜材料层的底部形成第一注入区域；
对所述振膜材料层进行第二次离子注入，以在所述振膜材料层中所述第一注入区域的上方形成第二注入区域；
执行退火步骤，以形成振膜层。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一次离子注入的能量为500Kev～1000Kev，注入剂量为1E14～1E16。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二次离子注入的能量为100Kev～200Kev，注入剂量为1E12～1E14。


4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述第二次离子注入之后，在执行所述退火步骤之前，所述方法还包括在所述振膜材料层上形成保护层的步骤，以防止注入的离子析出。


5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述保护层的沉积温...

【专利技术属性】
技术研发人员：巴文民，范建国，方文斌，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31