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本发明提供了一种MEMS麦克风及其制备方法、电子装置。所述方法包括：形成振膜材料层；对所述振膜材料层进行第一次离子注入，以在所述振膜材料层的底部形成第一注入区域；对所述振膜材料层进行第二次离子注入，以在所述振膜材料层中所述第一注入区域的上方...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。