MEMS扬声器制造技术

本发明专利技术提供了MEMS扬声器，包括基座、位于所述基座上方的振膜以及设于所述基座和所述振膜之间的驱动电极部，所述驱动电极部上形成有用于驱动所述振膜沿上下方向振动的驱动电极，所述驱动电极部包括至少三层导电层和两层绝缘层。通过设置多层结构的驱动电极部，实现非接触式的驱动振膜，相较于传统的接触式驱动振膜，本发明专利技术能够独立的调整振膜的刚度和静电驱动力的大小，保障MEMS扬声器达到设定的声压要求，且相较于传统的接触式驱动振膜，本发明专利技术能够独立的调整振膜的刚度和静电驱动力的大小，保障MEMS扬声器达到设定的声压要求；另外，本发明专利技术能通过差分激励的电极减小谐波失真。

【技术实现步骤摘要】
MEMS扬声器
本专利技术涉及发声装置
，具体为一种MEMS扬声器。
技术介绍
现有技术的MEMS扬声器方案，在顶层硅刻蚀成细长梁结构，在一定的驱动方式下做面内来回振动，从而发出声音。但这种发声方式低频声压远逊色于面外振动方案。因此，有必要提供新型结构的MEMS扬声器来解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种通过静电驱动振膜振动的MEMS扬声器。本专利技术的技术方案如下：MEMS扬声器，包括基座、位于所述基座上方的振膜以及设于所述基座和所述振膜之间的驱动电极部，所述驱动电极部上形成有用于驱动所述振膜沿上下方向振动的驱动电极；所述驱动电极部包括至少三层导电层和两层绝缘层，所述导电层和所述绝缘层交替叠层设置以使每两层所述导电层之间夹设一层所述绝缘层，所述驱动电极部设有贯穿所有所述导电层和所有所述绝缘层的分隔槽以将所述驱动电极部分隔为动电极部和静电极部，所述动电极部与所述振膜相对固定，所述静电极部与所述基座相对固定；所述驱动电极包括形成于所述动电极部的至少本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.MEMS扬声器，其特征在于，包括基座、位于所述基座上方的振膜以及设于所述基座和所述振膜之间的驱动电极部，所述驱动电极部上形成有用于驱动所述振膜沿上下方向振动的驱动电极；/n所述驱动电极部包括至少三层导电层和两层绝缘层，所述导电层和所述绝缘层交替叠层设置以使每两层所述导电层之间夹设一层所述绝缘层，所述驱动电极部设有贯穿所有所述导电层和所有所述绝缘层的分隔槽以将所述驱动电极部分隔为动电极部和静电极部，所述动电极部与所述振膜相对固定，所述静电极部与所述基座相对固定；/n所述驱动电极包括形成于所述动电极部的至少一个动电极和形成于所述静电极部的至少一个静电极，每个所述动电极至少由两层所述导电层电连接...

【技术特征摘要】
1.MEMS扬声器，其特征在于，包括基座、位于所述基座上方的振膜以及设于所述基座和所述振膜之间的驱动电极部，所述驱动电极部上形成有用于驱动所述振膜沿上下方向振动的驱动电极；
所述驱动电极部包括至少三层导电层和两层绝缘层，所述导电层和所述绝缘层交替叠层设置以使每两层所述导电层之间夹设一层所述绝缘层，所述驱动电极部设有贯穿所有所述导电层和所有所述绝缘层的分隔槽以将所述驱动电极部分隔为动电极部和静电极部，所述动电极部与所述振膜相对固定，所述静电极部与所述基座相对固定；
所述驱动电极包括形成于所述动电极部的至少一个动电极和形成于所述静电极部的至少一个静电极，每个所述动电极至少由两层所述导电层电连接形成，每个所述静电极至少由两层所述导电层电连接形成，至少有一层所述导电层既用于形成所述动电极又用于形成所述静电极，至少有一层所述导电层用于形成所述动电极但不用于形成所述静电极，至少有一层所述导电层用于形成所述静电极但不用于形成所述动电极。


2.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动电极部至少包括四层所述导电层，所述动电极和所述静电极中一者包括沿上下方向排布且电隔离的第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极用于连接差分信号。


3.根据权利要求2所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述驱动电极部包括四层所述导电层，所述第一电极形成于上侧的两层导电层，所述第二电极形成于下侧的两层导电层，所述静电极形成于中间的两层导电层。


4.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述动电极和所述静电极中一者包括沿垂直于所述振膜振动方向的方向排布且电隔离的第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极用于连接差分信号。


5.根据权利要求4所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述动电极和所述静电极中另一者包括沿垂直于所述振膜振动方向的方向排布且电隔离的第三电极和第四电极，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：但强，程诗阳，朱国，李杨，
申请(专利权)人：瑞声科技南京有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32