一种具备烧蚀量测量功能的LIBS装置及方法制造方法及图纸

本申请公开了一种具备烧蚀量测量功能的LIBS装置和方法，该装置包括：激光烧蚀组件、光学成像系统、LIBS信号采集组件。该装置将LIBS信号的采集处理同烧蚀量测量结合在一起，通过一套完整的系统在LIBS信号采集的同时分析烧蚀坑的形貌及烧蚀质量，为LIBS信号分析提供参考。本申请实施例中在采集LIBS信号的过程中可以获取与不同激光脉冲相对应的烧蚀体积或烧蚀质量，因而可以对烧蚀量和LIBS信号进行对比分析，可以高效获得大量光谱和取样量数据。

【技术实现步骤摘要】
一种具备烧蚀量测量功能的LIBS装置及方法
本申请涉及LIBS
，尤其涉及一种具备烧蚀量测量功能的LIBS装置及方法。
技术介绍
激光诱导击穿光谱(LaserInducedBreakdownSpectroscopy，LIBS)技术，利用高能激光脉冲激发目标材料产生等离子体，通过采集等离子体冷却过程中发射的光谱信号来分析探测目标中的元素。由于具有原位、快速、非接触、多元素同时探测等突出优势，LIBS技术被广泛探索应用于土壤、水体重金属污染监测、海底资源勘探、行星矿物分布等场景下的定性、定量分析。LIBS技术作为一种微取样分析技术，单发激光脉冲的烧蚀量影响着光谱信号的强度，各种因素，如脉冲激光能量波动、离焦量等等，导致烧蚀量的波动影响单发激光脉冲LIBS信号的重复性，也限制了微区分析性能提高。因此，需要同时对LIBS信号以及烧蚀量进行监控，以提高LIBS的分析质量。但是，现有技术中进行烧蚀量测量的仪器与LIBS系统集成，无法实现同时高效率监控LIBS烧蚀量与LIBS信号采集。
技术实现思路
本申请提供了一种具备烧蚀本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具备烧蚀量测量功能的LIBS装置，其特征在于，包括：/n激光烧蚀组件，包括：激光器(1)和扩束镜(2)，所述激光器(1)与样品(16)垂直设置，所述扩束镜(2)位于所述激光器(1)与所述样品(16)之间；/n光学成像系统，包括：光源(13)、物镜(4)、二向镜(3)、第一半反半透镜(7)、成像镜(11)、第二半反半透镜(12)和图像采集单元(10)；/n所述第二半反半透镜(12)倾斜设置于所述成像镜(11)与所述第一半反半透镜(7)之间，用于将所述光源(13)的出射光线反射至所述第一半反半透镜(7)；/n所述二向镜(3)设置于所述扩束镜(2)与所述物镜(4)之间，且所述第一半反半透镜(...

【技术特征摘要】
1.一种具备烧蚀量测量功能的LIBS装置，其特征在于，包括：
激光烧蚀组件，包括：激光器(1)和扩束镜(2)，所述激光器(1)与样品(16)垂直设置，所述扩束镜(2)位于所述激光器(1)与所述样品(16)之间；
光学成像系统，包括：光源(13)、物镜(4)、二向镜(3)、第一半反半透镜(7)、成像镜(11)、第二半反半透镜(12)和图像采集单元(10)；
所述第二半反半透镜(12)倾斜设置于所述成像镜(11)与所述第一半反半透镜(7)之间，用于将所述光源(13)的出射光线反射至所述第一半反半透镜(7)；
所述二向镜(3)设置于所述扩束镜(2)与所述物镜(4)之间，且所述第一半反半透镜(7)与所述二向镜(3)平行设置；
所述成像镜(11)设置于所述图像采集单元(10)与所述第二半反半透镜(12)之间；
LIBS信号采集组件，包括：光纤聚焦镜(8)和光谱仪(9)，所述光纤聚焦镜(8)位于所述第一半反半透镜(7)与所述光谱仪(9)之间。


2.根据权利要求1所述的具备烧蚀量测量功能的LIBS装置，其特征在于，还包括：激光脉冲能量检测器(15)和聚光镜(14)，所述聚光镜(14)位于所述激光脉冲能量检测器(15)与所述二向镜(3)之间。


3.根据权利要求1所述的具备烧蚀量测量功能的LIBS装置，其特征在于，所述光源(13)为蓝色LED同轴光源。


4.根据权利要求1所述的具备烧蚀量测量功能的LIBS装置，其特征在于，还包括：对焦及运动控制组件，包括：三轴运动控制平台(5)和压电陶瓷物镜定位器(6)，所述三轴运动控制平台(5)用于承载样品；所述压电陶瓷物镜定位器(6)用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：毕云峰，孙显科，邹启，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：山东;37