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本申请公开了一种具备烧蚀量测量功能的LIBS装置和方法，该装置包括：激光烧蚀组件、光学成像系统、LIBS信号采集组件。该装置将LIBS信号的采集处理同烧蚀量测量结合在一起，通过一套完整的系统在LIBS信号采集的同时分析烧蚀坑的形貌及烧蚀质量...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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