【技术实现步骤摘要】
吸光分析系统、程序存储介质以及吸光度测量方法
本专利技术涉及吸光分析系统、吸光分析系统用程序存储介质、吸光分析装置以及吸光度测量方法。
技术介绍
以往，作为对半导体制造工艺中的向成膜装置的腔室等供给对象供给的气体中所含的测量对象气体的浓度进行测量的系统，有具备对透过气体的光的强度进行检测的检测器和对气体的总压进行测量的总压传感器的吸光分析系统。应予说明，上述检测器为如下结构：具备例如对在流路中流通的气体照射光的光源、使从光源射出的光的波长之中测量对象气体所吸收的波长(以下，也称为测量波长)的光透过的滤光器、以及对透过了气体的测量波长的光的强度进行检测的受光部。然而，有时在通过上述现有的吸光分析系统分析的气体中含有吸收测量波长的光的干扰气体作为除测量对象气体以外的其他气体。在此情况下，不仅测量对象气体，干扰气体所吸收的测量波长的光的强度也被检测器检测到，因此无法准确地对测量对象气体的浓度进行测量。因此，如专利文献1所示，在上述现有的吸光分析系统中，使用多个能够检测测量波长的光的强度的检测器，求解与由该检...
【技术保护点】
1.一种吸光分析系统，其特征在于，具备：/n检测器，其对透过了气体的光的强度进行检测；/n总压传感器，其测量所述气体的总压；/n干扰气体分压-吸光度关系存储部，其存储干扰气体分压-吸光度关系数据，所述干扰气体分压-吸光度关系数据表示与测量对象气体一起被包含于所述气体中的干扰气体的分压与吸光度之间的关系；/n干扰气体分压推定部，其基于由所述总压传感器测量出的总压来推定所述干扰气体的分压；/n干扰气体吸光度转换部，其基于所述干扰气体分压-吸光度关系数据，将由所述干扰气体分压推定部推定出的干扰气体推定分压转换为所述干扰气体的吸光度；以及/n测量对象气体吸光度计算部，其基于所述检测...
【技术特征摘要】
20190509 JP 2019-0891771.一种吸光分析系统，其特征在于，具备：
检测器，其对透过了气体的光的强度进行检测；
总压传感器，其测量所述气体的总压；
干扰气体分压-吸光度关系存储部，其存储干扰气体分压-吸光度关系数据，所述干扰气体分压-吸光度关系数据表示与测量对象气体一起被包含于所述气体中的干扰气体的分压与吸光度之间的关系；
干扰气体分压推定部，其基于由所述总压传感器测量出的总压来推定所述干扰气体的分压；
干扰气体吸光度转换部，其基于所述干扰气体分压-吸光度关系数据，将由所述干扰气体分压推定部推定出的干扰气体推定分压转换为所述干扰气体的吸光度；以及
测量对象气体吸光度计算部，其基于所述检测器的输出值和由所述干扰气体吸光度转换部转换而得的干扰气体吸光度，来计算所述测量对象气体的吸光度。
2.根据权利要求1所述的吸光分析系统，其特征在于，所述干扰气体分压推定部将由所述总压传感器测量出的总压推定为所述干扰气体的分压。
3.根据权利要求1所述的吸光分析系统，其特征在于，所述吸光分析系统还具备：
测量对象气体分压-吸光度关系存储部，其存储表示所述气体中所含的测量对象气体的分压与吸光度之间的关系的测量对象气体分压-吸光度关系数据；以及
测量对象气体分压转换部，其基于所述测量对象气体分压-吸光度关系数据，将由所述测量对象气体吸光度计算部计算出的测量对象气体吸光度转换为所述测量对象气体的分压。
4.根据权利要求3所述的吸光分析系统，其特征在于，所述吸光分析系统还具备干扰气体分压计算部，所述干扰气体分压计算部基于由所述总压传感器测量出的总压和由所述测量对象气体分压转换部转换而得的测量对象气体分压，来计算所述干扰气体的分压。
5.根据权利要求4所述的吸光分析系统，其特征在于，所述吸光分析系统还具备第二干扰气体吸光度转换部，所述第二干扰气体吸光度转换部基于所述干扰气体分压-吸光度关系数据，将由所述干扰气体分压计算部计算出的干扰气体计算分压转换为所述干扰气体的新的吸光度，
所述测量对象气体吸光度计算部基于所述检测器的输出值和由所述第二干扰气体吸光度转换部转换而得的新的干扰气体吸光度，来计算所述测量对象气体的新的吸光度。
6.一种程序存储介质，其特征在于，存储有吸光分析系统用程序，所述吸光分析系统具备：对透过了气体的光的强度进行检测的检测器、以及测量所述气体的总压的总压传感器，
所述吸光...
【专利技术属性】
技术研发人员：志水彻，坂口有平，南雅和，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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