多弧离子镀膜靶材制造技术

本实用新型专利技术属于多弧离子镀膜技术领域，尤其为多弧离子镀膜靶材，包括底座、定位槽和顶板，所述底座的底端表面贴合有防腐涂层，所述定位槽的内部安装有凸块，所述顶板的底端表面连接有延伸块，所述延伸块的右侧设置有卡槽，所述顶板的表面固定有铆钉，所述外壳的外部设置有外螺纹。该多弧离子镀膜靶材通过顶板、铆钉、外壳和外螺纹的设置，顶板通过三个铆钉和凸块之间的配合与底座固定连接，而外壳对顶板的外部表面进行遮挡，使外部作用力不会直接作用到顶板上，同时也能够对铆钉进行遮挡，使镀膜靶材更加美观，通过外壳外部的外螺纹能够将镀膜靶材与合适的设备进行连接，现有的镀膜靶材是直接把铜焊上去，易损坏材料，该镀膜靶材解决了这一情况。

【技术实现步骤摘要】
多弧离子镀膜靶材
本技术涉及多弧离子镀膜
，具体为多弧离子镀膜靶材。
技术介绍
多弧离子镀膜是采用电弧放电的方法，在固体的阴极靶材上直接蒸发金属，蒸发物是从阴极弧光辉点放出的阴极物质的离子，从而在基材表面沉积成为薄膜的方法，在采用多弧离子镀膜的方法进行镀膜时，必须要使用到专用的镀膜靶材。现在传统的镀膜靶材使用贵金属钛、铬、锆、镍等，成本较高，不便于与合适的设备进行安装连接，且容易出现材料的损坏，需要降低靶材成本，使用时不会轻易的损坏，且便于与合适的设备进行安装连接的新型镀膜靶材。针对上述问题，急需在原有镀膜靶材的基础上进行创新设计。
技术实现思路
本技术的目的在于提供多弧离子镀膜靶材，以解决上述
技术介绍
中提出的贵金属成本较高，在使用时容易出现损坏，不便于与合适的设备进行安装连接，且容易出现材料的损坏的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：多弧离子镀膜靶材，包括底座、定位槽和顶板，所述底座的底端表面贴合有防腐涂层，且底座的内部安置有支撑机构，所述定位槽的内部安装有凸块，且定位槽位于底座的顶端表面，所述顶板的底端表面连接有延伸块，且顶板位于底座的上方，所述延伸块的右侧设置有卡槽，所述顶板的表面固定有铆钉，且顶板的外部安置有外壳，所述外壳的外部设置有外螺纹。优选的，所述防腐涂层的表面积大于底座的表面积，且防腐涂层的内部表面与底座的外部表面之间紧密贴合。优选的，所述支撑机构包括支撑板、加强筋、固定圈和支杆，且支撑板的右侧固定有加强筋，所述加强筋的前端安装有固定圈，且固定圈的内部安置有支杆。优选的，所述加强筋与支撑板之间为焊接，且支撑板之间关于底座的竖直中心线相对称，并且支撑板与加强筋之间呈桁架状结构。优选的，所述固定圈呈螺旋状结构分布于支杆的外部，且固定圈与底座之间相垂直，并且底座通过固定圈构成弹性结构。优选的，所述顶板通过延伸块、卡槽、定位槽和凸块之间的配合与底座之间卡和连接，且凸块与铆钉之间的水平中心线相重合，并且顶板通过铆钉和凸块之间的配合与底座固定连接，而且铆钉之间关于顶板的圆心环形分布。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该多弧离子镀膜靶材不会轻易的受到外部腐蚀物质的侵蚀而破裂，可承受压力有限，使用寿命长，使用时不会轻易的损坏，且便于与合适的设备进行安装连接；1、该多弧离子镀膜靶材通过支撑机构的设置，桁架状结构提升了底座可承受的作用力，使底座受到冲击后不会轻易的损坏，从而使镀膜靶材在使用时不会轻易的损坏，加强筋和支撑板之间的焊接具有生产率高，成本低，变形小，连接质量高和操作简单的特点，简化了镀膜靶材的生产难度，从而缩小了镀膜靶材的生产手工费，便于镀膜靶材进行推广使用，固定圈通过螺旋状结构延长了作用力的传导时间，从而减小了相同动量变化下物体所受到的作用力，起到了减震缓冲的作用，对底座提供了保护，进一步的提升了底座可承受的压力；2、该多弧离子镀膜靶材通过顶板、铆钉、外壳和外螺纹的设置，顶板的材质为铜，顶板通过三个铆钉和凸块之间的配合与底座固定连接，而外壳对顶板的外部表面进行遮挡，使外部作用力不会直接作用到顶板上，同时也能够对铆钉进行遮挡，使镀膜靶材更加美观，通过外壳外部的外螺纹能够将镀膜靶材与合适的设备进行连接，现有的镀膜靶材是直接把铜焊上去，易损坏材料，该镀膜靶材解决了这一情况。附图说明图1为本技术的正面剖视结构示意图。图2为本技术的正面结构示意图。图3为本技术的底座局部俯视结构示意图。图中：1、底座；2、防腐涂层；3、支撑机构；301、支撑板；302、加强筋；303、固定圈；304、支杆；4、定位槽；5、凸块；6、顶板；7、延伸块；8、卡槽；9、铆钉；10、外壳；11、外螺纹。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：多弧离子镀膜靶材，包括底座1、防腐涂层2、支撑机构3、支撑板301、加强筋302、固定圈303、支杆304、定位槽4、凸块5、顶板6、延伸块7、卡槽8、铆钉9、外壳10和外螺纹11，所述底座1的底端表面贴合有防腐涂层2，且底座1的内部安置有支撑机构3，所述定位槽4的内部安装有凸块5，且定位槽4位于底座1的顶端表面，所述顶板6的底端表面连接有延伸块7，且顶板6位于底座1的上方，所述延伸块7的右侧设置有卡槽8，所述顶板6的表面固定有铆钉9，且顶板6的外部安置有外壳10，所述外壳10的外部设置有外螺纹11；进一步的，所述防腐涂层2的表面积大于底座1的表面积，且防腐涂层2的内部表面与底座1的外部表面之间紧密贴合，防腐涂层2能够有效地防止底座1在碰到腐蚀物质时被腐蚀产生破裂，在底座1接触到腐蚀物质时，防腐涂层2都能够有效地将腐蚀物质隔绝开，提升了底座1的表面强度，从而提升了镀膜靶材的使用寿命；进一步的，所述支撑机构3包括支撑板301、加强筋302、固定圈303和支杆304，且支撑板301的右侧固定有加强筋302，所述加强筋302的前端安装有固定圈303，且固定圈303的内部安置有支杆304；进一步的，所述加强筋302与支撑板301之间为焊接，且支撑板301之间关于底座1的竖直中心线相对称，并且支撑板301与加强筋302之间呈桁架状结构，桁架状结构提升了底座1可承受的作用力，使底座1受到冲击后不会轻易的损坏，从而使镀膜靶材在使用时不会轻易的损坏，加强筋302和支撑板301之间的焊接具有生产率高，成本低，变形小，连接质量高和操作简单的特点，简化了镀膜靶材的生产难度，从而缩小了镀膜靶材的生产手工费，便于镀膜靶材进行推广使用；进一步的，所述固定圈303呈螺旋状结构分布于支杆304的外部，且固定圈303与底座1之间相垂直，并且底座1通过固定圈303构成弹性结构，固定圈303通过螺旋状结构延长了作用力的传导时间，从而减小了相同动量变化下物体所受到的作用力，起到了减震缓冲的作用，对底座1提供了保护，进一步的提升了底座1可承受的压力；进一步的，所述顶板6通过延伸块7、卡槽8、定位槽4和凸块5之间的配合与底座1之间卡和连接，且凸块5与铆钉9之间的水平中心线相重合，并且顶板6通过铆钉9和凸块5之间的配合与底座1固定连接，而且铆钉9之间关于顶板6的圆心环形分布，顶板6的材质为铜，顶板6通过三个铆钉9和凸块5之间的配合与底座1固定连接，而外壳10对顶板6的外部表面进行遮挡，使外部作用力不会直接作用到顶板6上，同时也能够对铆钉9进行遮挡，使镀膜靶材更加美观，通过外壳10外部的外螺纹11能够将镀膜靶材与合适的设备进行连接，现有的镀膜靶材是直接把铜焊上去，易损坏材料，该镀膜靶材解决了这一情况。工作原理：该多弧离本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.多弧离子镀膜靶材，包括底座（1）、定位槽（4）和顶板（6），其特征在于：所述底座（1）的底端表面贴合有防腐涂层（2），且底座（1）的内部安置有支撑机构（3），所述定位槽（4）的内部安装有凸块（5），且定位槽（4）位于底座（1）的顶端表面，所述顶板（6）的底端表面连接有延伸块（7），且顶板（6）位于底座（1）的上方，所述延伸块（7）的右侧设置有卡槽（8），所述顶板（6）的表面固定有铆钉（9），且顶板（6）的外部安置有外壳（10），所述外壳（10）的外部设置有外螺纹（11）。/n

【技术特征摘要】
1.多弧离子镀膜靶材，包括底座（1）、定位槽（4）和顶板（6），其特征在于：所述底座（1）的底端表面贴合有防腐涂层（2），且底座（1）的内部安置有支撑机构（3），所述定位槽（4）的内部安装有凸块（5），且定位槽（4）位于底座（1）的顶端表面，所述顶板（6）的底端表面连接有延伸块（7），且顶板（6）位于底座（1）的上方，所述延伸块（7）的右侧设置有卡槽（8），所述顶板（6）的表面固定有铆钉（9），且顶板（6）的外部安置有外壳（10），所述外壳（10）的外部设置有外螺纹（11）。


2.根据权利要求1所述的多弧离子镀膜靶材，其特征在于：所述防腐涂层（2）的表面积大于底座（1）的表面积，且防腐涂层（2）的内部表面与底座（1）的外部表面之间紧密贴合。


3.根据权利要求1所述的多弧离子镀膜靶材，其特征在于：所述支撑机构（3）包括支撑板（301）、加强筋（302）、固定圈（303）和支杆（304），且支撑板（301）的右侧固定有加强筋（302），所述加强筋（...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨小岗，
申请(专利权)人：陕西欧凯利靶材股份有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61