多弧离子镀膜靶材制造技术

本实用新型专利技术属于多弧离子镀膜技术领域，尤其为多弧离子镀膜靶材，包括底座、定位槽和顶板，所述底座的底端表面贴合有防腐涂层，所述定位槽的内部安装有凸块，所述顶板的底端表面连接有延伸块，所述延伸块的右侧设置有卡槽，所述顶板的表面固定有铆钉，所述外壳的外部设置有外螺纹。该多弧离子镀膜靶材通过顶板、铆钉、外壳和外螺纹的设置，顶板通过三个铆钉和凸块之间的配合与底座固定连接，而外壳对顶板的外部表面进行遮挡，使外部作用力不会直接作用到顶板上，同时也能够对铆钉进行遮挡，使镀膜靶材更加美观，通过外壳外部的外螺纹能够将镀膜靶材与合适的设备进行连接，现有的镀膜靶材是直接把铜焊上去，易损坏材料，该镀膜靶材解决了这一情况。

【技术实现步骤摘要】
多弧离子镀膜靶材
本技术涉及多弧离子镀膜
，具体为多弧离子镀膜靶材。
技术介绍
多弧离子镀膜是采用电弧放电的方法，在固体的阴极靶材上直接蒸发金属，蒸发物是从阴极弧光辉点放出的阴极物质的离子，从而在基材表面沉积成为薄膜的方法，在采用多弧离子镀膜的方法进行镀膜时，必须要使用到专用的镀膜靶材。现在传统的镀膜靶材使用贵金属钛、铬、锆、镍等，成本较高，不便于与合适的设备进行安装连接，且容易出现材料的损坏，需要降低靶材成本，使用时不会轻易的损坏，且便于与合适的设备进行安装连接的新型镀膜靶材。针对上述问题，急需在原有镀膜靶材的基础上进行创新设计。
技术实现思路
本技术的目的在于提供多弧离子镀膜靶材，以解决上述
技术介绍
中提出的贵金属成本较高，在使用时容易出现损坏，不便于与合适的设备进行安装连接，且容易出现材料的损坏的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：多弧离子镀膜靶材，包括底座、定位槽和顶板，所述底座的底端表面贴合有防腐涂层，且底座的内部安置有支撑机构，所述定位槽的内部安装有凸块，且定位槽位于底座的顶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.多弧离子镀膜靶材，包括底座（1）、定位槽（4）和顶板（6），其特征在于：所述底座（1）的底端表面贴合有防腐涂层（2），且底座（1）的内部安置有支撑机构（3），所述定位槽（4）的内部安装有凸块（5），且定位槽（4）位于底座（1）的顶端表面，所述顶板（6）的底端表面连接有延伸块（7），且顶板（6）位于底座（1）的上方，所述延伸块（7）的右侧设置有卡槽（8），所述顶板（6）的表面固定有铆钉（9），且顶板（6）的外部安置有外壳（10），所述外壳（10）的外部设置有外螺纹（11）。/n

【技术特征摘要】
1.多弧离子镀膜靶材，包括底座（1）、定位槽（4）和顶板（6），其特征在于：所述底座（1）的底端表面贴合有防腐涂层（2），且底座（1）的内部安置有支撑机构（3），所述定位槽（4）的内部安装有凸块（5），且定位槽（4）位于底座（1）的顶端表面，所述顶板（6）的底端表面连接有延伸块（7），且顶板（6）位于底座（1）的上方，所述延伸块（7）的右侧设置有卡槽（8），所述顶板（6）的表面固定有铆钉（9），且顶板（6）的外部安置有外壳（10），所述外壳（10）的外部设置有外螺纹（11）。


2.根据权利要求1所述的多弧离子镀膜靶材，其特征在于：所述防腐涂层（2）的表面积大于底座（1）的表面积，且防腐涂层（2）的内部表面与底座（1）的外部表面之间紧密贴合。


3.根据权利要求1所述的多弧离子镀膜靶材，其特征在于：所述支撑机构（3）包括支撑板（301）、加强筋（302）、固定圈（303）和支杆（304），且支撑板（301）的右侧固定有加强筋（302），所述加强筋（...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨小岗，
申请(专利权)人：陕西欧凯利靶材股份有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61