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本实用新型属于多弧离子镀膜技术领域,尤其为多弧离子镀膜靶材,包括底座、定位槽和顶板,所述底座的底端表面贴合有防腐涂层,所述定位槽的内部安装有凸块,所述顶板的底端表面连接有延伸块,所述延伸块的右侧设置有卡槽,所述顶板的表面固定有铆钉,所述外壳...该专利属于陕西欧凯利靶材股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过陕西欧凯利靶材股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型属于多弧离子镀膜技术领域,尤其为多弧离子镀膜靶材,包括底座、定位槽和顶板,所述底座的底端表面贴合有防腐涂层,所述定位槽的内部安装有凸块,所述顶板的底端表面连接有延伸块,所述延伸块的右侧设置有卡槽,所述顶板的表面固定有铆钉,所述外壳...