静电吸附装置和贴合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供了一种静电吸附装置和贴合装置，解决了现有静电吸附装置由于接触层表面粗糙不平而导致的容易粘附灰尘以及影响吸附效果的问题。该静电吸附装置包括：底板；设置在所述底板表面的电极层，构造为通电后通过累积电荷产生静电吸附力；以及设置在所述电极层表面的接触层，用于与被吸附物品接触并防止静电击穿；其中，所述接触层采用一体成型且表面平整的玻璃材质。

【技术实现步骤摘要】
静电吸附装置和贴合装置
本技术涉及静电吸附
，具体涉及一种静电吸附装置和贴合装置。
技术介绍
静电吸附装置是一种利用电场感应产生静电，从而吸附被吸附物体的工业元件。随着工业生产中超净作业环境需求行业的生产量的增加，对于无痕无损无尘抓取的需求逐渐增多，而传统的用于半导体行业的静电吸附装置由于接触层表面较为粗糙，容易粘附灰尘，从而影响被吸附物品的后续工序；此外，现有静电吸附装置的接触层表面在与电极层的接合处存在缝隙，容易因为加工误差导致接触层表面不平，这写都会严重影响被吸附物体的吸附效果。
技术实现思路
有鉴于此，本技术实施例提供了一种静电吸附装置，解决了现有静电吸附装置由于接触层表面粗糙不平而导致的容易粘附灰尘以及影响吸附效果的问题。根据本申请的一个方面，本技术一实施例提供的一种静电吸附装置包括：底板；设置在所述底板表面的电极层，构造为通电后通过累积电荷产生静电吸附力；以及设置在所述电极层表面的接触层，用于与被吸附物品接触并防止静电击穿；其中，所述接触层采用一体成型且表面平整的玻璃材质。在本技术一实施例中，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种静电吸附装置，其特征在于，包括：/n底板；/n设置在所述底板表面的电极层，构造为通电后通过累积电荷产生静电吸附力；以及/n设置在所述电极层表面的接触层，用于与被吸附物品接触并防止静电击穿；/n其中，所述接触层采用一体成型且表面平整的玻璃材质。/n

【技术特征摘要】
1.一种静电吸附装置，其特征在于，包括：
底板；
设置在所述底板表面的电极层，构造为通电后通过累积电荷产生静电吸附力；以及
设置在所述电极层表面的接触层，用于与被吸附物品接触并防止静电击穿；
其中，所述接触层采用一体成型且表面平整的玻璃材质。


2.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述接触层的材质包括以下材料中的一种或多种组合：高硼硅玻璃和钢化玻璃。


3.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述接触层的厚度包括0.3mm-1mm。


4.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述接触层的与所述电极层贴合的表面以及与所述被吸附物品接触的表面的粗糙度都不大于Ra0.025。


5.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述电极层的与所述接触层贴合的表面中未被电极结构覆盖的区域为喷砂处理的粗糙表面。


6....

【专利技术属性】
技术研发人员：徐绍宸，李富海，鲍晓亮，蒉张涛，魏继江，
申请(专利权)人：吸力奇迹天津科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12