静电吸附装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供了一种静电吸附装置，解决了现有静电吸附装置在吸附导电性较好的物品时的释放困难问题。本实用新型专利技术一实施例提供的一种静电吸附装置包括：底板；设置在所述底板表面的电极层，构造为通电后通过累积电荷产生静电吸附力；设置在所述电极层表面的接触层，构造为防止静电击穿；以及设置在所述接触层表面的导电层，构造为中和所述电极层通电结束后所述接触层中的残余电荷。

【技术实现步骤摘要】
静电吸附装置
本技术涉及静电吸附
，具体涉及一种静电吸附装置。
技术介绍
静电吸附装置是一种利用电场感应产生静电，从而吸附被吸附物体的工业元件，被用于轻薄片状物体的抓取和透气物体的抓取。然而现有的静电吸附装置在实际应用中，吸附的物体多为绝缘体，或导电性较差物体，这样在撤去电场后，因为分子转向极化作用显著弱于分子热运动的作用，这些导电性差的物体是易于被释放的。但是在吸附导电性较好的物体，或超轻薄物体时，因为接触层中撤去电场后仍存在一定的残余极化强度会使得静电吸附装置仍具备残余吸附力，从而产生释放困难的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术实施例提供了一种静电吸附装置，解决了现有静电吸附装置在吸附导电性较好的物品时的释放困难问题。本技术一实施例提供的一种静电吸附装置包括：底板；设置在所述底板表面的电极层，构造为通电后通过累积电荷产生静电吸附力；设置在所述电极层表面的接触层，构造为防止静电击穿；以及设置在所述接触层表面的导电层，构造为中和所述电极层通电结束后所述接触层中的残余电荷。在本技术一实施例中，所述导电层的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种静电吸附装置，其特征在于，包括：/n底板；/n设置在所述底板表面的电极层，构造为通电后通过累积电荷产生静电吸附力；/n设置在所述电极层表面的接触层，构造为防止静电击穿；以及/n设置在所述接触层表面的导电层，构造为中和所述电极层通电结束后所述接触层中的残余电荷。/n

【技术特征摘要】
1.一种静电吸附装置，其特征在于，包括：
底板；
设置在所述底板表面的电极层，构造为通电后通过累积电荷产生静电吸附力；
设置在所述电极层表面的接触层，构造为防止静电击穿；以及
设置在所述接触层表面的导电层，构造为中和所述电极层通电结束后所述接触层中的残余电荷。


2.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述导电层的材质包括氧化铟锡。


3.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述导电层的厚度包括350nm-550nm。


4.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述导电层的电阻率小于103Ω·cm。


5.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述导电层采用如下制备方式中的一种制备于所述接触层表面：磁控溅射法、蒸镀法，涂布法和蒸发法。


6.根据权利要求5所述的静电吸附装置，其特征在于，所述导电层采用磁控溅射法制...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐绍宸，李富海，鲍晓亮，蒉张涛，魏继江，
申请(专利权)人：吸力奇迹天津科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12