聚偏氟乙烯压电薄膜加速度传感器制造技术

本实用新型专利技术是一种新型加速度传感器。由一个质量块和至少一片张紧的聚偏氟乙烯压电薄膜构成该传感器的核心部分。质量块感受被测物体的加速度使聚偏氟乙烯压电薄膜产生机械变形，从而在薄膜的内、外表面上产生正负相反的异性电荷，并通过薄膜表面上的导电层电极将反映被测物体加速度变化的电信号引出来。这种加速度传感器与压电晶体加速度传感器相比，具有耐冲击、结构简单、易于加工、装配和成本低廉的优点。（*该技术在1996年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本专利技术涉及一种新型的加速度传感器。现有的压电式加速度传感器，一般都是用压电石英或压电陶瓷等无机压电材料作为转换元件的。无机压电材料是脆性材料，加工难度大、要求高、装配也较为复杂，因而，成本也较高。而且加工、装配和使用过程中容易破碎损坏。本专利技术的目的是针对现有压电式加速度传感器的缺点进行改进，为用户提供结构简单、便于加工、耐冲击，不易损坏、价格低廉的加速度传感器。本专利技术的技术方案是，在包括基座、壳体、电缆插座、惯性质量块和敏感元件的加速度传感器中，由至少一片张紧的聚偏氟乙烯压电薄膜作为敏感元件，在基座与壳体之间有一个压电薄膜张紧装置，被张紧的压电薄膜与惯性质量块直接接触。基座上装有电缆插座，可以引出与加速度成比例的电信号。在工作状态下，基座被固定在被测物体上。该传感器中张紧装置上的压电薄膜与质量块构成一个单自由度的“质量－弹簧”系统，即压电薄膜起了弹簧的作用。传感器中的质量块能感受被测物体的加速度，由于质量块本身的惯性而使张紧的压电薄膜在被测物体加速度作用下产生微小的机械变形，聚偏氟乙烯压电薄膜的微小机械变形导致压电薄膜的内、外表面产生正负相反的异性电荷，由于在聚偏氟乙烯压电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型加速度传感器，包括基座、壳体、电缆插座、惯性质量块和敏感元件，其特征在于，（１）至少有一片张紧的聚偏氟乙烯压电薄膜作为敏感元件，（２）在基座与壳体之间有一个压电薄膜张紧装置，（３）被张紧的压电薄膜与惯性质量块直接接触。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种新型加速度传感器，包括基座、壳体、电缆插座、惯性质量块和敏感元件，其特征在于，(1)至少有一片张紧的聚偏氟乙烯压电薄膜作为敏感元件，(2)在基座与壳体之间有一个压电薄膜张紧装置，(3)被张紧的压电薄膜与惯性质量块直接接触。2.根据权利要求1的传感器，其特征在于，在聚偏氟乙烯压电薄膜的表面上有导电层。3.根据权利要求2的传感器，其特征在于，(1)基座由一个中心带有螺纹通孔的圆柱体和一个底部与圆柱体相连的、包围圆柱体的圆环构成，圆柱体顶部有一个与圆柱体同心的凹下的圆台，(2)惯性质量块由外径不同的小轴和大轴构成阶梯轴，小轴插在基座圆柱体顶部的凹台内，大轴的外径与基座圆柱体外径相同，(3)压电薄膜紧套在惯性质量块和基座圆柱体外面，在压电薄膜和惯性质量块的小轴之间形成一个环状空腔，(4)张紧装置由基座、惯性质量块、压电薄膜、预紧弹性元件和预紧螺钉组成，张紧螺钉旋进基座中心的螺纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱晓云，
申请(专利权)人：航空工业部第六二五研究所，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]