【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
含有半导体加速度传感器的半导体器件,其特征在于它包括:从半导体晶片切割出来的具有应变检测部分的直角平行六面体型结构;固定和支持从半导体晶片切割出来的直角平行六面体型结构用的支持体;固定该直角平行六面体的结构至少一端的装置;以及在设置了从半导体晶片切割出来的直角平行六面体型结构的应变检测部分的表面上的多个桥路。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:新荻正隆,齐藤丰,加藤健二,
申请(专利权)人:株式会社精工电子研究开发中心,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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