压电震动传感器制造技术

揭示了一种对于沿两个轴的直线震动和在给定平面内的旋转震动敏感，并且包括两个压电传感器和一个集成电路的震动传感器。第一压电传感器治偏离震动传感器所在平面一个角度的方向极化，并且对于具有沿第一和第二正交轴的分量的震动产生第一响应，第一和第二正交轴确定一个与震动传感器所在平面垂直的平面。第二压电传感器沿偏离震动传感器所在平面一个角度并且偏离第一方向１８０°的方向极化。第二压电传感器对于具有沿第一和第二正交轴的分量的震动产生第二响应。集成电路对第一和第二响应敏感，产生指出直线震动的信号并通过组合第一和第二响应而产生指出旋转震动的信号。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般涉及震动传感器。说得更具体些，本专利技术涉及能够检测沿多个轴的震动、使用多个压电传感器的震动传感器，其中，压电传感器的数目少于轴的数目。
技术介绍
激励材料(active material)是对于机械激励(例如，机械应力和应变)在电气上作出响应(例如，产生电荷)，或者相反地，对于电激励(例如，电压、电流和电场)在机械上作出响应(例如，产生机械形变)的任何材料。激励材料也称之为导出应变激励器(induced strain actuator)，并且例如可以包括压电材料、电致伸缩材料、压阻材料、形状记忆材料或磁致伸缩材料。于是，激励材料(诸如压电材料)很适合于用作传感器，来检测机械扰动(例如震动)、力和压力。震动传感器在许多工业部门中有应用，例如，在汽车工业中用作气囊打开传感器，而在计算机工业中用作检测磁盘驱动器和输入笔的震动的传感器。按照它们的应用，希望震动传感器检测各种形式的震动。一般，可以将震动分解成平移成分和旋转成分。直线震动定义为只有平移成分的震动。旋转震动定义为只有旋转成分的震动。直线和旋转震动能够相对于三个直角坐标轴分解。大多数震动是直线震动和旋转震动的组合。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对于沿两个正交轴的直线震动和在所述震动传感器所在平面内的旋转震动敏感的震动传感器，其特征在于，所述震动传感器包括：第一压电传感器，它沿第一方向极化，所述第一方向偏离所述震动传感器所在平面一个角度，所述第一压电传感器对于具有沿第一和第 二正交轴的分量的震动产生第一响应，所述第一和第二正交轴确定一个与所述压电传感器所在平面垂直的平面；第二压电传感器，它沿第二方向极化，所述第二方向偏离所述震动传感器所在平面一个角度，所述第二方向偏离所述第一方向１８０°，所述第二压电传感器 对于具有沿所述第一和第二正交轴的分量的震动产生第二响应；以及集成电路，它对所述第一响应和所述第二响应敏感，它进行...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：SC陈，
申请(专利权)人：依普泰克微体系股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]