具有谐振结构的传感器,尤其是加速度或转速传感器及用于自检测的装置及方法制造方法及图纸

一种自检验传感器，尤其用于测量转速及加速度，包括一个振荡结构或谐振结构２；一个致动单元，用于将该结构（２）激励成第一周期性振荡；一个压电电阻单元（５）用于产生与被测量相关的输出信号；及用于从输出信号中分离该检验信号分量的装置（５），其中检验信号分量由在第一振荡上叠加该结构（２）的第二周期性振荡来产生。一种用于传感器自检验的装置具有用于从传感器周期性输出信号中分离出检验信号分量的装置（５），该检验信号分量被叠加在有效信号分量上；及比较装置，用于将检验信号分量与一个预定值或一个传送给传感器的检验信号相比较。为了自检验，使结构（２）的第一振荡与第二周期性振荡相叠加；及检测输出信号，该输出信号包括关于被测量的信息。监测包含在输出信号中的检验信号分量。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
,尤其是加速度或转速传感器及用于自检测的装置及方法
本专利技术涉及根据权利要求1前序部分的传感器及根据权利要求10和15前序部分的传感器的自检测装置和方法。此外，本专利技术还涉及根据权利要求22前序部分的加速度传感器。通常，传感器在系统中用于检测被测量的量。在惯性传感
中，例如使用转速及加速度传感器来检测运动量。因为通常这涉及与安全相关的应用，这些传感器必须特别可靠及能准确地检测被测量。在DE19528961中描述了一种根据音叉原理的转速传感器，它由硅制成。在工作中音叉被激励到振荡及传感单元记录音叉悬边的扭转，该扭转是在传感器绕与音叉悬置边平行的轴转动时发生的。为了譬如识别传感器受的干扰或偏移，必须在工作时使传感器接受检测。由此提高受检测的被测量的可靠性及精确性。在EP0708925中描述了在一个冲击系统中识别误差的装置，其中通过操作传感元件来产生一个检验响应，及将结果与一个期望响应结果相比较。在US5 060 504中指出了一种加速度传感器的自校准方法。其中一个传感器体相对一个框架移动，该移动相应于一个已知的加速度。在此情况下，输出值作为随后校准的参考值使用。在US5 1本文档来自技高网...

【技术保护点】
传感器，具有：一个用于检测被测量的振荡结构（２ａ，２ｂ；１１；１００）；一个用于将该结构（２ａ，２ｂ；１１；１００）激励成第一周期性振荡的致动单元（３ａ，３ｂ；７）；及用于产生与被测量相关的输出信号的单元（５；１５；２５），其特征在于：用于从输出信号中检测和／或分离一个检验信号分量的装置（４１，４５；６０ａ，６０ｂ），该检验信号分量由在第一振荡上叠加该结构（２ａ，２ｂ；１１；１００）的第二周期性振荡来产生。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：乔瑟夫硕克，厄文斯坦泽尔，凯林鲍尔，雷纳弗雷塔格，罗兰希尔瑟，拉尔夫沃斯，马蒂斯艾克勒，赫尔穆特塞德尔，尤里奇普利切尔，
申请(专利权)人：伊兹德国有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]