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具有谐振结构的传感器,尤其是加速度或转速传感器及用于自检测的装置及方法制造方法及图纸
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下载具有谐振结构的传感器,尤其是加速度或转速传感器及用于自检测的装置及方法的技术资料
文档序号:2626251
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一种自检验传感器,尤其用于测量转速及加速度,包括一个振荡结构或谐振结构2;一个致动单元,用于将该结构(2)激励成第一周期性振荡;一个压电电阻单元(5)用于产生与被测量相关的输出信号;及用于从输出信号中分离该检验信号分量的装置(5),其中检验...
该专利属于伊兹德国有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过伊兹德国有限公司授权不得商用。
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