下载具有谐振结构的传感器,尤其是加速度或转速传感器及用于自检测的装置及方法的技术资料

文档序号:2626251

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一种自检验传感器,尤其用于测量转速及加速度,包括一个振荡结构或谐振结构2;一个致动单元,用于将该结构(2)激励成第一周期性振荡;一个压电电阻单元(5)用于产生与被测量相关的输出信号;及用于从输出信号中分离该检验信号分量的装置(5),其中检验...
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