一种链式氧化碱抛光SE—PERC太阳能电池制备方法技术

本发明专利技术涉及太阳能电池生产领域。一种链式氧化碱抛光SE—PERC太阳能电池制备方法，包括制绒、扩散、正面重掺杂、链式氧化、背面去PSG、碱抛光、正面氧化、正面沉积氮化硅膜、背面沉积钝化膜、背面激光开孔、电极印刷、高温烧结、电注入的工艺步骤。本发明专利技术的有益效果是：本发明专利技术通过使用背面碱抛光有效提升了太阳能电池背面反射率，使得长波段透射率明显降低，从而减少了光的透射损失，增加了电流密度Jsc，进而提高了SE‑PERC太阳能电池的转换效率。

【技术实现步骤摘要】
一种链式氧化碱抛光SE—PERC太阳能电池制备方法
本专利技术涉及太阳能电池生产领域。
技术介绍
SE-PERC太阳能电池是目前市场上最流行的高效电池之一，其将正面激光重掺杂技术(SE)与局部接触背钝化技术(PERC)相结合，大大提升了太阳能电池的效率。SE-PERC太阳能电池从下往上依次包括背电极、背电场、SiNx/SiNxOx叠层、P型硅、N++层、N+层、氧化硅、氮化硅和正电极，N++层通过正面激光推进磷硅玻璃(PSG)中的磷实现。现有的SE-PERC电池的制备方法主要为酸刻蚀制备法，其制备流程为：制绒-扩散-正面激光-酸法刻蚀抛光+去PSG-退火-背面沉积钝化膜-沉积减反膜-背面激光开孔-背电极、背电场和正电极印刷-高温烧结。在SE-PERC电池的制备过程中，酸法抛光虽然流程简单，但其被反射率低，光投射损失大，转化效率低，因此有必要对SE-PERC电池的制备方法进行改进。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是：如何提升SE-PERC太阳能电池转化效率。本专利技术所采用的技术方案是：一种链式氧化碱抛光S本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种链式氧化碱抛光SE—PERC太阳能电池制备方法，其特征在于：包括制绒、扩散、正面重掺杂、链式氧化、背面去PSG、碱抛光、正面氧化、正面沉积氮化硅膜、背面沉积钝化膜、背面激光开孔、电极印刷、高温烧结、电注入的工艺步骤；正面重掺杂步骤中使用激光进行正面掺杂，正面重掺杂后，硅片重掺杂区域方阻与为其它掺杂区域方阻差值为30-70Ω/sq；链式氧化，通过高温链式氧化技术，在硅片正面重掺杂区形成链式氧化二氧化硅保护层，链式氧化二氧化硅保护层厚度1.0-4.0nm。/n

【技术特征摘要】
1.一种链式氧化碱抛光SE—PERC太阳能电池制备方法，其特征在于：包括制绒、扩散、正面重掺杂、链式氧化、背面去PSG、碱抛光、正面氧化、正面沉积氮化硅膜、背面沉积钝化膜、背面激光开孔、电极印刷、高温烧结、电注入的工艺步骤；正面重掺杂步骤中使用激光进行正面掺杂，正面重掺杂后，硅片重掺杂区域方阻与为其它掺杂区域方阻差值为30-70Ω/sq；链式氧化，通过高温链式氧化技术，在硅片正面重掺杂区形成链式氧化二氧化硅保护层，链式氧化二氧化硅保护层厚度1.0-4.0nm。


2.根据权利要求1所述的一种链式...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩超，王森栋，赵晨，戴大洲，
申请(专利权)人：山西潞安太阳能科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：山西;14