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本发明涉及太阳能电池生产领域。一种链式氧化碱抛光SE—PERC太阳能电池制备方法,包括制绒、扩散、正面重掺杂、链式氧化、背面去PSG、碱抛光、正面氧化、正面沉积氮化硅膜、背面沉积钝化膜、背面激光开孔、电极印刷、高温烧结、电注入的工艺步骤。本...该专利属于山西潞安太阳能科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过山西潞安太阳能科技有限责任公司授权不得商用。
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本发明涉及太阳能电池生产领域。一种链式氧化碱抛光SE—PERC太阳能电池制备方法,包括制绒、扩散、正面重掺杂、链式氧化、背面去PSG、碱抛光、正面氧化、正面沉积氮化硅膜、背面沉积钝化膜、背面激光开孔、电极印刷、高温烧结、电注入的工艺步骤。本...