压电陀螺元件和压电陀螺仪制造技术

压电陀螺元件和压电陀螺仪。本发明专利技术的课题是提供可以通过由压电材料的棱柱状振动体构成的较简单的结构、同时以较高的驱动效率且高精度地检测２轴方向上的角速度，可实现小型化、低成本化的压电陀螺元件和压电陀螺仪。作为解决手段，呈截面为矩形的棱柱状的压电振动体（２）在其一端固定，在压电振动体的第１侧面（２１）上形成第１驱动电极（４Ａ），在压电振动体的第２侧面（２２）上形成在其宽度方向上分离的第２～第４驱动电极（４Ｂ～４Ｄ），带相位差地向各驱动电极施加驱动电流，使压电振动体振动，使其另一端做圆周运动。在与其振动的旋转中心轴正交的方向上作用有扭矩时，从压电振动体的第１侧面上形成的第１检测电极（５Ａ）和第２侧面上形成的第２检测电极（５Ｂ）输出由此产生的压电振动体的挠度，从而检测２轴方向上的角速度。

【技术实现步骤摘要】
压电陀螺元件和压电陀螺仪
本专利技术涉及用于检测2轴方向上的角速度的压电陀螺元件和采用该压电陀螺元件的压电陀螺仪。
技术介绍
以往，作为船舶、飞机、汽车等的姿势控制或导航系统、摄像机等的手部抖动防止和检测等的旋转角速度传感器，以及在3维立体鼠标等的旋转方向传感器等中，广泛地利用了压电陀螺仪。以往的许多的压电陀螺传感器具有检测一个平面内的旋转即一轴方向上的角速度的结构，为了检测2轴方向上的角速度，必须使用2个压电陀螺传感器、且沿正交的方向上配置而使用。因此，人们开发并提出了可通过1个压电陀螺传感器来检测2轴方向上的角速度的各种结构。例如，公知有下述的振动陀螺：包括具有相互正交的2个轴的十字型振动弹性体，具有在该2轴方向上按照相位相反的弯曲振动模式激振的振子(参照专利文献1)。这样的结构的振动陀螺的装置整体也较大，成本较高。另外，提出了下述的角速度传感器：可通过固定振动检测用的振动部件的一端、且使另一端旋转运动，由简单结构的1个传感器来同时检测2个轴的角速度(参照专利文献2)。该角速度传感器的构成为：在具有挠性的柱体状的振动部件的各侧面上分别以1对为一组贴附压电体和电极，通过使错开90本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电陀螺元件，其特征在于，具有：压电振动体，其呈截面为矩形的棱柱状，其一端被固定；在上述压电振动体的相对的第１侧面上形成的第１驱动电极；在上述压电振动体的相对的第２侧面上沿其宽度方向分离地形成的第２和第３驱动电极；在上述压电振动 体的相对的上述第１侧面上形成的第１检测电极；以及，在上述压电振动体的相对的上述第２侧面上形成的第２检测电极，通过带有相位差地向上述各驱动电极施加驱动电流，使上述压电振动体振动，使得其另一端做圆周运动，从上述检测电极输出由于在 与该振动的旋转中心轴正交的方向上作用的扭矩而产生的上述压电振动体的挠度。

【技术特征摘要】
JP 2004-12-16 2004-3649781.一种压电陀螺元件，其特征在于，具有：压电振动体，其呈截面为矩形的棱柱状，其一端被固定；在上述压电振动体的相对的第1侧面上形成的第1驱动电极；在上述压电振动体的相对的第2侧面上沿其宽度方向分离地形成的第2和第3驱动电极；在上述压电振动体的相对的上述第1侧面上形成的第1检测电极；以及，在上述压电振动体的相对的上述第2侧面上形成的第2检测电极，通过带有相位差地向上述各驱动电极施加驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：小仓诚一郎，小林祥宏，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]