振荡型回转传感器及其制造方法、控制电路和电子设备技术

提供了包括振荡回转装置、振荡电路、控制器以及阻抗转换电路的振荡型回转传感器。所述振荡回转装置包括其中包括驱动电极和检测电极的压电装置，振荡回转装置根据输入到驱动电极的驱动信号而振荡，并且能够产生包括与来自检测电极的科里奥利力对应的检测信号的输出信号。振荡电路基于输出信号将用于使振荡回转装置振荡的信号输出到驱动电极作为驱动信号。控制器控制振荡电路，使得振荡电路输出使输出信号恒定的驱动信号。将从振荡电路输出的驱动信号输入到阻抗转换电路。

【技术实现步骤摘要】
相关申请的交叉引用本专利技术包含涉及于2007年3月15日向日本知识产权局提交的日本专利申请JP 2007-066802的主题，通过引用的方式将其全部内容合并在此。
本专利技术涉及用于检测对象的旋转角速度的振荡型回转(gyro)传感器，及其控制电路、安装有振荡型回转传感器的电子设备、以及制造振荡型回转传感器的方法。
技术介绍
作为商用角速度传感器，所谓的振荡型回转传感器已经被广泛地使用。振荡型回转传感器是具有以预定谐振(resonance)频率振荡的悬臂(cantilever)振荡器和检测由于角速度的影响而发生的科里奥利力(Coriolis force)的压电(piezoelectric)元件的传感器，以便检测角速度。振荡型回转传感器具有例如机构简单、激活时间短以及制造成本低的优点。将振荡型回转传感器安装在诸如对于传感器分别执行抖动检测、运动检测和方向检测的摄像机、虚拟现实装置、汽车导航系统之类的电子设备中。近些年来，由于已经小型化了安装有振荡型回转传感器的电子设备的尺寸并且所述电子设备已经具有改进的功能，所以振荡型回转传感器的小型化和改进的功能的需求变得强烈。例如，为了满足电子设备本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振荡型回转传感器，包括：　　　　振荡回转装置，包括压电装置，所述压电装置包括驱动电极和检测电极，所述振荡回转装置根据输入到所述驱动电极的驱动信号振荡，并且能够产生包括与来自所述检测电极的科里奥利力对应的检测信号的输出信号；　　　　振荡电路，基于所述输出信号将用于使所述振荡回转装置振荡的信号输出到所述驱动电极作为所述驱动信号；　　　　控制器，控制所述振荡电路使得该振荡电路输出使所述输出信号恒定的驱动信号；以及　　　　阻抗转换电路，向其输入从所述振荡电路输出的所述驱动信号。

【技术特征摘要】
JP 2007-3-15 066802/071.一种振荡型回转传感器，包括：振荡回转装置，包括压电装置，所述压电装置包括驱动电极和检测电极，所述振荡回转装置根据输入到所述驱动电极的驱动信号振荡，并且能够产生包括与来自所述检测电极的科里奥利力对应的检测信号的输出信号；振荡电路，基于所述输出信号将用于使所述振荡回转装置振荡的信号输出到所述驱动电极作为所述驱动信号；控制器，控制所述振荡电路使得该振荡电路输出使所述输出信号恒定的驱动信号；以及阻抗转换电路，向其输入从所述振荡电路输出的所述驱动信号。2.根据权利要求1所述的振荡型回转传感器，其中所述检测电极包括产生第一信号的第一检测电极以及产生第二信号的第二检测电极，所述第一信号和所述第二信号的差值用于获得所述检测信号，其中所述振荡型回转传感器进一步包括加法电路，用于将来自所述第一检测电极的第一信号和来自所述第二检测电极的第二信号相加，以及其中所述振荡电路基于在所述加法电路中通过相加而获得的所述信号来将所述驱动信号输出到所述驱动电极。3.根据权利要求1所述的振荡型回转传感器，其中所述振荡回转装置包括安装有压电装置的振荡臂、以及包括将所述驱动电极和所述检测电极与所述振荡型回转传感器的外部连接并且支撑所述振荡臂的引导电极组的底座主体。4.根据权利要求3所述的振荡型回转传感器，其中所述压电装置包括具有在其之上形成所述驱动电极和所述检测电极的第一表面以及与该第一表面相对的第二表面的压电膜，以及在所述第二表面之上形成的公共电极，以及其中所述振荡臂包括由半导体制成的臂底部，该振荡臂安装有所述压电装置，以便在所述臂底部和所述压电膜之间提供所述公共电极。5.一种振荡型回转传感器，包括：振荡回转装置，包括第一振荡臂，所述第一振荡臂包括具有第一驱动电极和检测电极的第一压电装置；第二振荡臂，所述第二振荡臂包括具有第二驱动电极的第二压电装置；以及第三振荡臂，所述第三振荡臂包括具有第三驱动电极的第三压电装置，所述振荡回转装置根据输入到所述第一驱动电极、所述第二驱动电极以及所述第三驱动电极的每一个的驱动信号而振荡，并且能够产生包括与来自所述检测电极的科里奥利力对应的检测信号的输出信号；振荡电路...

【专利技术属性】
技术研发人员：栗原一夫，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]