光学尺制造技术

本发明专利技术涉及一种具有高测试精密度的光学尺，包括：一个主尺，其分布有多个第一光栅；一个设置于所述第一光栅侧边的光源；一个透镜组，所述透镜组包括一个用于将光源发出的光线准直成平行光的单轴柱型透镜以及一个柱形透镜阵列，所述柱型透镜阵列具有多个用于将所述平行光分成多组并进一步聚焦成多个光点的柱形透镜；以及一个光学感测处理单元，用于感测经由所述多组光线产生的多组光信号以产生与该光信号相对应的多组电信号，并对所述多组电信号进行处理而产生一个高精密度的电信号，以测定被测物体的位移或速度。所述光学尺可将光源发出的光线分成多组并分别感测其光信号以产生多组电信号，从而可经由对该多组电信号的处理得到高精确度的测量值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学尺，尤其涉及一种具有较高测量精确度的光学尺。
技术介绍
传统对位移及速度的精密测量是使用游标卡尺或千分尺，并结合时间量测工具进行测量，随着光学技术的发展，新的测量手段也得到了广泛的应用，如结合了光学技术及电子技术的光学尺，正以其独有的特性广泛应用于对位移及速度的精密测量中。常见的光学尺可分为穿透式及反射式两种类型，图1示出了一种典型的穿透式光学尺10的工作原理，主尺15于操作时保持固定不动，副尺16与主尺15相对设置并可沿主尺15移动，通过主尺15的光栅151与副尺16的光栅161间的偏斜角度所产生的莫尔条纹(MoireFringes)，可将光源11发出的光线，经光学镜片12、13后，射至光电感测元件14，该光电感测元件14将接收的光信号转换为近似正弦变化的电信号，以达到位置侦侧的目的。请进一步参阅图2，图2所示的是一种典型的反射式光学尺20，其与图1所示的典型的穿透式光学尺10的区别在于，将光源22发出的光线，经光学镜片23聚焦后射至主尺21，并经主尺21上高反射光栅区211及低反射光栅区212反射后，由光学镜片24聚集至光电感测元件25并由该光电感测元件2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学尺，包括：一个主尺，所述主尺分布有多个第一光栅；一个设置于所述第一光栅侧边的光源；一个透镜组，所述透镜组包括一个用于将光源发出的光线准直成平行光的单轴柱型透镜以及一个柱形透镜阵列，所述柱型透镜阵列具有多个用于将所述平行光分成多组并进一步聚焦成多个光点的柱形透镜；以及一个光学感测处理单元，用于感测经由所述多组光线产生的多组光信号以产生与该光信号相对应的多组电信号，并对所述多组电信号进行处理而产生一个高精密度的电信号，以测定被测物体的位移或速度。

【技术特征摘要】
1.一种光学尺，包括：一个主尺，所述主尺分布有多个第一光栅；一个设置于所述第一光栅侧边的光源；一个透镜组，所述透镜组包括一个用于将光源发出的光线准直成平行光的单轴柱型透镜以及一个柱形透镜阵列，所述柱型透镜阵列具有多个用于将所述平行光分成多组并进一步聚焦成多个光点的柱形透镜；以及一个光学感测处理单元，用于感测经由所述多组光线产生的多组光信号以产生与该光信号相对应的多组电信号，并对所述多组电信号进行处理而产生一个高精密度的电信号，以测定被测物体的位移或速度。2.如权利要求1所述的光学尺，其特征在于，所述光学感测处理单元包括：多个光学感测器，用以感测所述多组光线产生的光信号；及一个光学处理单元，用以将所述感测到的多组光信号转换成所述相对应的多组电信号，并对所述多组电信号进行处理以产生一个高精密度的电信号以测定被测物体的位移或速度。3.如权利要求1所述的光学尺，其特征在于，所述主尺的多个第一光栅分布成高反射区光栅区和低反射...

【专利技术属性】
技术研发人员：张仁淙，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]